[发明专利]具备静压流体支承装置的机床

说明书

一种机床，其中，具备：支承体；移动体，其能够相对于上述支承体相对移动；静压流体支承装置，其经由流体将上述移动体支承为能够相对于上述支承体相对移动；以及振动测定装置，其能够测定上述移动体的振动。上述静压流体支承装置具备：静压凹部；流体供给装置，其供给上述流体；流体引导流路，其将从上述流体供给装置供给的流体向上述静压凹部引导；主动型的可变节流阀，其通过改变节流开度，能够调整供给至上述静压凹部的上述流体的流量；以及阀控制装置，其基于上述振动测定装置的测定结果主动地调整上述节流开度。

技术领域

本发明涉及具备静压流体支承装置的机床。

背景技术

公知具备静压流体支承装置的机床。例如，在专利文献1中公开了在对置的移动体以及固定体的面中的一方具备静压凹部的静压流体支承(轴承)装置。在专利文献1记载的静压流体支承装置中，通过泵加压后的流体供给至静压凹部，在移动体与固定体之间形成规定厚度的流体膜。由此，移动体相对于固定体被非接触地支承从而摩擦减少，移动体以及固定体能够高精度地相对移动。

专利文献1：日本专利第5874185号公报

发明人发现，通过根据施加于移动体的干扰负荷主动地调整向静压凹部供给的流体的流量，能够抑制移动体的振动。然而，从改变设置于静压流体支承装置的可变节流阀的节流开度开始，至向静压凹部供给的流体的流量变化为止，产生恒定的时滞。即，即便配合施加于移动体的干扰负荷的变化，改变可变节流阀40的节流开度，向静压凹部供给的流体的流量的变化也与施加于移动体的干扰负荷的变化不一致，无法充分抑制移动体的振动。

发明内容

本发明的目的在于提供一种机床，具备通过根据施加于移动体的干扰负荷调整向静压凹部供给的流体的流量来抑制移动体的振动的静压流体支承装置。

本发明的机床具备：支承体；移动体，其能够相对于上述支承体移动；静压流体支承装置，其经由流体将上述移动体支承为能够相对于上述支承体相对移动；以及振动测定装置，其能够测定上述移动体的振动。上述静压流体支承装置具备：静压凹部，其设置于上述支承体以及上述移动体中的一方，配置于与上述支承体以及上述移动体中的另一方对置的位置；流体供给装置，其供给上述流体；流体引导流路，其将从上述流体供给装置供给的流体向上述静压凹部引导；主动型的可变节流阀，其设置于上述流体引导流路，通过改变节流开度，能够调整供给至上述静压凹部的上述流体的流量；以及阀控制装置，其基于上述振动测定装置的测定结果主动地调整上述节流开度。

上述阀控制装置具备：基准波形数据获取部，其获取基于作为上述振动测定装置的测定结果的测定波形数据得到的基准波形数据；最优波形数据生成部，其基于上述基准波形数据生成最优波形数据；以及节流开度调整部，其基于上述最优波形数据调整上述节流开度。

上述最优波形数据生成部具备：第一调整波形数据生成部，其生成向时间轴方向转换与上述基准波形数据相位相反的波形数据得到的第一调整波形数据；最优转换时间导出部，其在边改变上述第一调整波形数据相对于上述基准波形数据的相位相反的波形数据的转换时间边基于上述第一调整波形数据调整了上述节流开度时，通过观察上述基准波形数据的振幅的变化，导出对上述基准波形数据的振幅变小最优的上述第一调整波形数据的最优转换时间；以及最优波形数据存储部，其存储以上述最优转换时间在时间轴方向对上述基准波形数据进行转换得到的最优波形数据。

根据本发明的机床，节流开度调整部基于以最优转换时间在时间轴方向对基准波形数据进行转换得到的最优波形数据调整节流开度。这里，在可变节流阀中调整完节流开度时，调整完节流开度的时刻与向静压凹部供给的流体的流量改变的时刻在时间上产生偏差。即，当基于基准波形数据本身调整完节流开度时，无法使向静压凹部供给的流体的流量为适当量。因此，如上述那样，通过节流开度调整部调整的节流开度基于以最优转换时间在时间轴方向对基准波形数据进行转换得到的最优波形数据来调整。因此，静压流体支承装置能够根据施加于移动体的干扰负荷的变化使向静压凹部供给的流体的流量适当变化。其结果是，该机床能够可靠地抑制移动体的振动。