[发明专利]具备静压流体支承装置的机床

权利要求书

1.一种机床，其中，具备：

支承体；

移动体，其能够相对于所述支承体相对移动；

静压流体支承装置，其经由流体将所述移动体支承为能够相对于所述支承体相对移动；以及

振动测定装置，其能够测定所述移动体的振动，

所述静压流体支承装置具备：

静压凹部，其设置于所述支承体以及所述移动体中的一方，配置于与所述支承体以及所述移动体中的另一方对置的位置；

流体供给装置，其供给所述流体；

流体引导流路，其将从所述流体供给装置供给的流体向所述静压凹部引导；

主动型的可变节流阀，其设置于所述流体引导流路，通过改变节流开度，能够调整供给至所述静压凹部的所述流体的流量；以及

阀控制装置，其基于所述振动测定装置的测定结果主动地调整所述节流开度，

所述阀控制装置具备：

基准波形数据获取部，其获取基于作为所述振动测定装置的测定结果的测定波形数据得到的基准波形数据；

最优波形数据生成部，其基于所述基准波形数据生成最优波形数据；以及

节流开度调整部，其基于所述最优波形数据调整所述节流开度，

所述最优波形数据生成部具备：

第一调整波形数据生成部，其生成向时间轴方向转换与所述基准波形数据相位相反的波形数据得到的第一调整波形数据；

最优转换时间导出部，其在边改变所述第一调整波形数据相对于所述基准波形数据的相位相反的波形数据的转换时间边基于所述第一调整波形数据调整完所述节流开度时，通过获取所述基准波形数据的振幅的变化，导出对所述基准波形数据的振幅变小最优的所述第一调整波形数据的最优转换时间；以及

最优波形数据存储部，其存储以所述最优转换时间在时间轴方向对所述基准波形数据进行转换得到的最优波形数据。

2.根据权利要求1所述的机床，其中，

所述第一调整波形数据生成部生成向时间轴方向依次转换与所述基准波形数据相位相反的波形数据得到的所述第一调整波形数据，

所述最优转换时间导出部比较第一调整后振幅与第一调整前振幅，其中，

所述第一调整后振幅是基于重新时间转换得到的所述第一调整波形数据调整所述节流开度时得到的所述基准波形数据的振幅，

所述第一调整前振幅是基于重新时间转换之前的所述第一调整波形数据调整所述节流开度时得到的所述基准波形数据的振幅，

所述最优转换时间导出部基于所述第一调整后振幅与所述第一调整前振幅的比较结果，导出所述基准波形数据的振幅变小的所述最优转换时间。

3.根据权利要求2所述的机床，其中，

所述第一调整波形数据生成部生成向时间前进方向和时间延迟方向中的任一方依次转换与所述基准波形数据相位相反的波形数据得到的所述第一调整波形数据，

一旦所述第一调整后振幅变为比所述第一调整前振幅小之后变为比所述第一调整前振幅大时，所述最优转换时间导出部将与所述第一调整前振幅对应的所述第一调整波形数据中的转换时间作为所述最优转换时间导出。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的机床，其中，

所述第一调整波形数据生成部将最初生成所述第一调整波形数据时的转换时间即初始转换时间设为除0以外的时间，生成所述第一调整波形数据。

5.根据权利要求1～4中的任一项所述的机床，其中，

所述第一调整波形数据生成部将生成所述第一调整波形数据时的对所述基准波形数据的增益即初始增益设为比1大的恒定值，生成所述第一调整波形数据。