[发明专利]声换能器和麦克风组件

说明书

声换能器和麦克风组件。一种声换能器包括换能器基板以及穿过换能器基板限定的具有非圆形周界形状的孔。振膜设置在换能器基板上并经由至少一个振膜锚联接到换能器基板的表面，使得在振膜与换能器基板之间限定一间隙，并且振膜的外边缘向孔的边沿外径向延伸，使得振膜的一部分悬在孔的上方。

技术领域

本公开总体上涉及用于麦克风组件的具有非圆形孔的声换能器。

背景技术

麦克风组件被用于电子设备中以将声能转换为电信号。微型和纳米制造技术的进步带来了越来越小的微机电系统(MEMS)麦克风组件的发展。一些麦克风组件包括具有振膜的声换能器，该振膜悬于孔上方并且当暴露于过高压力下时可密封孔的边沿，这会导致振膜进而导致声换能器的失效。

发明内容

在一些实施方式中，声换能器包括换能器基板以及穿过所述换能器基板限定的具有非圆形周界形状的孔。振膜设置在所述换能器基板上方并经由至少一个振膜锚联接到所述换能器基板的表面，使得在所述振膜与所述换能器基板之间限定了间隙。所述振膜的外边缘在径向上位于所述孔的边沿外侧，使得所述振膜的一部分悬在所述孔上方。

在一些实施方式中，麦克风组件包括基座。外壳设置在所述基座上。声换能器在所述外壳内设置在所述基座上，并且被配置为响应于声活动而生成电信号。所述声换能器包括换能器基板以及穿过所述换能器基板限定的具有非圆形周界形状的孔。振膜设置在所述换能器基板上方并经由至少一个振膜锚联接到所述换能器基板的表面，使得在所述振膜与所述换能器基板之间限定了间隙，并且所述振膜的外边缘在径向上位于所述孔的边沿外侧，使得所述振膜的一部分悬在所述孔上方。

应当理解，前述概念和以下更详细讨论的附加概念的所有组合(假设这样的概念并不相互矛盾)都被认为是本文公开的主题的一部分。特别地，出现在本公开的结尾处的要求保护的主题的所有组合都被认为是本文公开的主题的一部分。

附图说明

本公开的前述和其他特征根据下面结合附图的描述和所附权利要求将变得更清楚。应当明白，这些附图仅描绘了根据本公开的几个实施方式，并因此不被视为对其范围的限制，本公开通过使用附图以附加特异性和细节进行描述。

图1是根据一个实施方式的包括声换能器的麦克风组件的侧横截面视图。

图2A是图1的声换能器的一部分的俯视图。

图2B是图2A的声换能器的一部分的侧横截面视图。

图3是图1、图2A和图2B的声换能器的另一侧横截面视图，示出了其中包括的背板。

图4是根据另一实施方式的声换能器的侧横截面视图。

图5是示出响应于气压冲击的包括圆形孔(对照)或限定非圆形周界形状的孔的声换能器的振膜的存活率的曲线图，该非圆形周界形状由幅度为10微米或20微米的正弦函数表示。

图6是示出响应于气压冲击的包括圆形孔(对照)或限定非圆形周界形状的孔的声换能器的振膜的存活率的曲线图，该非圆形周界形状由具有角频率为12度或36度的峰和谷的正弦函数表示。

图7是示出响应于气压冲击的包括圆形孔(对照)或限定非圆形周界形状的孔以及与孔的峰或谷对齐的振膜锚的声换能器的振膜的存活率的曲线图，该非圆形周界形状由具有峰和谷的正弦函数表示。

图8是根据一个实施方式的用于形成声换能器的方法的示意性流程图。

在下面的详细描述中，对附图进行参照。在图中，类似符号通常标识类似组件，除非上下文另有规定。在该详细描述、附图以及权利要求中描述的例示性实施方式不旨在进行限制。在不脱离在此提出的主旨的精神或范围的情况下，可以利用其他实施方式，并且可以进行其他改变。应当容易地明白，如在此一般描述且在附图中例示的本公开的方面可以按宽泛种类的不同配置来设置、代替、组合以及设计，其全部明确地被设想并且成为本公开的一部分。