[发明专利]声换能器和麦克风组件

权利要求书

1.一种声换能器，所述声换能器包括：

换能器基板；

穿过所述换能器基板限定的具有非圆形周界形状的孔；以及

振膜，其设置在所述换能器基板上并经由至少一个振膜锚联接到所述换能器基板的表面，使得在所述振膜与所述换能器基板之间限定一间隙，并且所述振膜的外边缘在径向上位于所述孔的边沿外侧，使得所述振膜的一部分悬在所述孔上方，

其中，所述非圆形周界形状是正弦形状，所述正弦形状使得所述孔的壁在垂直于所述声换能器的纵轴的方向上限定一组峰和对应的一组谷。

2.根据权利要求1所述的声换能器，其中，所述一组峰和所述一组谷中的各个峰和各个谷的幅度在5微米至50微米的范围内，该范围包括5微米和50微米。

3.根据权利要求1所述的声换能器，其中，所述一组峰和所述一组谷的角频率在每次振荡4度至每次振荡72度的范围内。

4.根据权利要求1所述的声换能器，所述声换能器还包括周向地围绕所述孔的所述边沿设置在所述换能器基板上的多个锚柱，所述锚柱从所述换能器基板朝着所述振膜延伸。

5.根据权利要求4所述的声换能器，其中，所述多个锚柱中的各个锚柱与所述一组谷中的对应谷径向对齐。

6.根据权利要求4所述的声换能器，其中，所述多个锚柱中的各个锚柱与所述一组峰中的对应峰径向对齐。

7.根据权利要求1所述的声换能器，其中，从所述振膜的所述外边缘到所述孔的所述边沿的径向距离在5微米至70微米的范围内，该范围包括5微米和70微米。

8.根据权利要求1所述的声换能器，其中，所述振膜与所述换能器基板之间的由所述间隙限定的轴向距离在0.5微米至3微米的范围内，该范围包括0.5微米和3微米。

9.根据权利要求1所述的声换能器，所述声换能器还包括在所述换能器基板上设置在所述振膜上方的背板。

10.一种麦克风组件，所述麦克风组件包括：

基座；

外壳，其设置在所述基座上；

声换能器，其在所述外壳内设置在所述基座上，所述声换能器被配置为响应于声活动而生成电信号，所述声换能器包括：

换能器基板；

穿过所述换能器基板限定的具有非圆形周界形状的孔；以及

振膜，其设置在所述换能器基板上并经由至少一个振膜锚联接到所述换能器基板的表面，使得在所述振膜与所述换能器基板之间限定一间隙，并且所述振膜的外边缘在径向上位于所述孔的边沿外侧，使得所述振膜的一部分悬在所述孔上方，

其中，所述非圆形周界形状是正弦形状，所述正弦形状使得所述孔的壁在垂直于所述声换能器的纵轴的方向上限定一组峰和对应的一组谷。

11.根据权利要求10所述的麦克风组件，其中，所述声换能器还包括在所述换能器基板上设置在所述振膜上方的背板。

12.根据权利要求10所述的麦克风组件，其中，所述一组峰和所述一组谷中的各个峰和各个谷的幅度在5微米至50微米的范围内，该范围包括5微米和50微米。

13.根据权利要求10所述的麦克风组件，其中，所述一组峰和所述一组谷的角频率在每次振荡4度至每次振荡72度的范围内。

14.根据权利要求10所述的麦克风组件，其中，所述声换能器还包括周向地围绕所述孔的所述边沿设置在所述换能器基板上的多个锚柱，所述锚柱从所述换能器基板朝着所述振膜延伸。

15.根据权利要求14所述的麦克风组件，其中，所述多个锚柱中的各个锚柱与所述一组谷中的对应谷径向对齐。