[发明专利]处理工件的方法和处理工件的系统

权利要求书

1.一种处理工件(2、102)的方法，所述工件(2、102)具有第一表面(4、104)、与所述第一表面(4、104)相对的第二表面(6、106)、和在所述第一表面(4、104)与所述第二表面(6、106)之间延伸的第三表面(8、108)，其中，所述方法包括：

在所述工件(2、102)内侧形成修改区域(16)，以便在所述工件(2、102)中创建开口(18)，所述开口(18)延伸至所述第一表面(4、104)、所述第二表面(6、106)和所述第三表面(8、108)的至少一个；

在所述工件(2、102)内侧形成所述修改区域(16)之后，将液体介质(20、120)引入到至少一些所述开口(18)中；以及

在将所述液体介质(20、120)引入到所述至少一些所述开口(18)中之后，将外部刺激施用至所述液体介质(20、120)，以便增加所述介质(20、120)的体积。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，在所述工件(2、102)内侧形成所述修改区域(16)包括将激光束(LB)施用至所述工件(2、102)，或由将激光束(LB)施用至所述工件(2、102)组成。

3.根据权利要求2所述的方法，其中，所述工件(2、102)由对所述激光束(LB)透明的材料制成；并且在所述激光束(LB)的焦点位于所述工件(2、102)内侧的情况下，或者在所述激光束(LB)的所述焦点位于所述第一表面(4、104)上、所述第二表面(6、106)上、或所述第三表面(8、108)上的情况下，将所述激光束(LB)施用至所述工件(2、102)。

4.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，将所述外部刺激施用至所述液体介质(20、120)包括加热所述液体介质(20、120)或冷却所述液体介质(20、120)，或由加热所述液体介质(20、120)或冷却所述液体介质(20、120)组成。

5.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，将所述外部刺激施用至所述液体介质(20、120)包括将电场和/或磁场施用至所述液体介质(20、120)，或由将电场和/或磁场施用至所述液体介质(20、120)组成。

6.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，将所述外部刺激施用至所述液体介质(20、120)诱导所述液体介质(20、120)的相变，以便增加所述介质(20、120)的体积。

7.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述开口(18)是所述工件中的裂纹。

8.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，通过将所述液体介质(20、120)或所述液体介质(20、120)的蒸汽施用至所述开口(18)延伸到的所述第一表面(4、104)、所述第二表面(6、106)和所述第三表面(8、108)的至少一个，来将所述液体介质(20、120)引入到所述至少一些所述开口(18)中，使得至少一部分所述液体介质(20、120)至少部分地进入到所述开口(18)中。

9.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述液体介质(20、120)是水。

10.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述液体介质(20、120)包含表面活性剂。

11.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述修改区域(16)包括无定型区域或形成有裂纹的区域、或者是无定型区域或形成有裂纹的区域。

12.一种处理工件(2、102)的系统，所述工件(2、102)具有第一表面(4、104)、与所述第一表面(4、104)相对的第二表面(6、106)、和在所述第一表面(4、104)与所述第二表面(6、106)之间延伸的第三表面(8、108)，其中，所述系统包括：

修改区域形成装置，其配置为在所述工件(2、102)内侧形成修改区域(16)，以便在所述工件(2、102)中创建开口(18)，所述开口(18)延伸至所述第一表面(4、104)、所述第二表面(6、106)和所述第三表面(8、108)的至少一个；

液体介质供应装置，其配置为将液体介质(20、120)引入到至少一些所述开口(18)中；以及

外部刺激施用装置，其配置为将外部刺激施用至被引入到所述至少一些所述开口(18)中的所述液体介质(20、120)，以便增加所述介质(20、120)的体积。