[发明专利]磁性件、镀膜夹具和磁性件的制造方法

说明书

本发明提供了一种磁性件、镀膜夹具和磁性件的制造方法，磁性件用于镀膜夹具，磁性件包括：基体和纳米陶瓷涂层，纳米陶瓷涂层包覆于基体上。本发明所提供的磁性件，在基体表面涂布有纳米陶瓷涂层，纳米陶瓷涂层与清洗液不会发生化学反应，避免纳米陶瓷涂层被腐蚀，进而避免磁性件生锈；并且由于避免磁性件生锈，在镀膜夹具进入到清洗液后，不再有锈蚀物在超声波的作用下进入到清洗液中，进而避免因涂层被腐蚀而污染清洗液，减小了石英晶片被二次污染的可能性，使得石英晶片获得更好的清洗效果。

技术领域

本发明涉及石英晶片技术领域，具体而言，涉及一种磁性件、镀膜夹具和磁性件的制造方法。

背景技术

目前，石英晶体谐振器在制造的过程中，石英晶片需交替在高纯净度的热水、高纯净度的冷水、碱性清洗液和酸性清洗液中进行超声波振洗，清洗完成后，石英晶片再进行镀膜。

在相关技术中，清洗石英晶片时，需将石英晶片安装在镀膜夹具中，并通过磁铁固定镀膜夹具各个部件，镀膜夹具带动石英晶片一同进出高纯净度的热水、高纯净度的冷水、碱性清洗液和酸性清洗液；但清洗过程中，磁铁表面的金属镀层会被清洗液腐蚀，进而导致磁铁生锈。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。

为此，本发明的第一方面提出一种磁性件。

本发明的第二方面提出一种镀膜夹具。

本发明的第三方面提出一种磁性件的制造方法。

有鉴于此，本发明的第一方面提供了一种磁性件，磁性件用于镀膜夹具，磁性件包括：基体和纳米陶瓷涂层，纳米陶瓷涂层包覆于基体上。

本发明所提供的磁性件，在基体表面涂布有纳米陶瓷涂层，纳米陶瓷涂层与清洗液不会发生化学反应，避免纳米陶瓷涂层被腐蚀，进而避免磁性件生锈；并且由于避免磁性件生锈，在镀膜夹具进入到清洗液后，不再有锈蚀物在超声波的作用下进入到清洗液中，进而避免因涂层被腐蚀而污染清洗液，减小了石英晶片被二次污染的可能性，使得石英晶片获得更好的清洗效果。

另外，本发明提供的上述技术方案中的磁性件还可以具有如下附加技术特征：

在本发明的一个技术方案中，纳米陶瓷涂层的厚度大于等于3微米，并且小于等于30微米。

在该技术方案中，纳米陶瓷涂层的厚度为3微米至30微米，避免因纳米陶瓷涂层的厚度过薄而无法起到防锈效果，也避免因纳米陶瓷涂层过厚而易于脱落，在确保纳米陶瓷涂层可有效地防止基体生锈的同时，使得纳米陶瓷涂层与基体之间具备更加良好的附着力，进而避免纳米陶瓷涂层脱落。

在本发明的一个技术方案中，纳米陶瓷涂层的材质包括三氧化二铝、二氧化钛和二氧化硅。

在本发明的一个技术方案中，磁性件还包括金属涂层，金属涂层包覆于基体上，位于基体与纳米陶瓷涂层之间。

在该技术方案中，在纳米陶瓷涂层与基体之间设置金属涂层，使得磁性件直接在设置有金属涂层的磁性件上涂布一层纳米陶瓷涂层即可，避免已经涂布有金属涂层的磁性件浪费，进而降低磁性件的改造成本；并且还可使得纳米陶瓷涂层、金属涂层与基体之间的热膨胀系数逐渐过渡，进而提升纳米陶瓷涂层与基体之间的附着力，避免纳米陶瓷涂层脱落。

本发明第二方面提供了一种镀膜夹具，包括第一膜片、定位片、第二膜片、基板和如上述任一技术方案的磁性件；定位片的一侧与第一膜片的一侧相贴合；第二膜片与定位片的另一侧相贴合，第一膜片和第二膜片用于夹持石英晶片；基板与第一膜片相连接，位于第一膜片的另一侧；磁性件设置于基板上，以吸合第一膜片、定位片和第二膜片。