[发明专利]磁性件、镀膜夹具和磁性件的制造方法

权利要求书

1.一种磁性件，其特征在于，所述磁性件用于镀膜夹具，所述磁性件包括：

基体；

纳米陶瓷涂层，所述纳米陶瓷涂层包覆于所述基体上。

2.根据权利要求1所述的磁性件，其特征在于，

所述纳米陶瓷涂层的厚度大于等于3微米，并且小于等于30微米。

3.根据权利要求1所述的磁性件，其特征在于，

所述纳米陶瓷涂层的材质包括三氧化二铝、二氧化钛和二氧化硅。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的磁性件，其特征在于，还包括：

金属涂层，所述金属涂层包覆于所述基体上，位于所述基体与所述纳米陶瓷涂层之间。

5.一种镀膜夹具，其特征在于，包括：

第一膜片；

定位片，所述定位片的一侧与所述第一膜片的一侧相贴合；

第二膜片，所述第二膜片与所述定位片的另一侧相贴合，所述第一膜片和所述第二膜片用于夹持石英晶片；

基板，所述基板与所述第一膜片相连接，位于所述第一膜片的另一侧；

如权利要求1至4中任一项所述的磁性件，所述磁性件设置于所述基板上，以吸合所述第一膜片、所述定位片和所述第二膜片。

6.根据权利要求5所述的镀膜夹具，其特征在于，还包括：

定位销，所述定位销穿设于所述基板、所述第一膜片、所述定位片和所述第二膜片上。

7.一种磁性件的制造方法，其特征在于，所述磁性件的制造方法用于制造如权利要求1至4中任一项所述的磁性件，所述磁性件的制造方法包括：

获取所述基体；

在所述基体上涂布所述纳米陶瓷涂层；

将涂布有所述纳米陶瓷涂层的所述基体在第一温度下静置第一时长；

将所述纳米陶瓷涂层固化；

向所述基体内充磁。

8.根据权利要求7所述的磁性件的制造方法，其特征在于，所述获取所述基体包括：

烧结铷铁硼或钐钴粉末，以得到毛坯料；

将所述毛坯料切割为第一尺寸的所述基体；

去除所述基体上的棱角和毛刺；

将所述基体在第三温度的清洗液内清洗第三时长。

9.根据权利要求7所述的磁性件的制造方法，其特征在于，在所述获取所述基体，与所述在所述基体上涂布所述纳米陶瓷涂层之间，所述磁性件的制造方法还包括：

在所述基体上涂布金属涂层。

10.根据权利要求7至9中任一项所述的磁性件的制造方法，其特征在于，

所述第一温度大于等于20摄氏度，并且小于等于30摄氏度；

所述第一时长大于等于20小时，并且小于等于28小时。