[发明专利]一种微波烧结阴极覆膜用靶材的制备方法

权利要求书

1.一种微波烧结阴极覆膜用靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)采用纯度≥99.9％、粉末粒径在100-200nm的超细锇粉为原材料；

粉体可能存在一定的氧化，在使用前需先在氢气中还原；

(2)制备细晶锇烧结生坯：将称取的锇粉，装入内径磨具中，采用粉末压片机双向模压成型，获得烧结生胚；优选在300Mp-400Mp的压力下，保压1-10min，获得烧结生胚；

(3)微波烧结时，将生坯置于内层Al₂O₃坩埚内，进行微波烧结，在整个烧结过程中，炉腔内保持还原气氛。

2.按照权利要求1所述的一种微波烧结阴极覆膜用靶材的制备方法，其特征在于，步骤(1)中的还原：在管式还原炉中，持续通氢气，以10℃/min升温到850℃，保温1小时，还原部分氧化的粉体，冷却至室温，所得粉末经处理后迅速真空封装并移入密闭干燥器中。

3.按照权利要求1所述的一种微波烧结阴极覆膜用靶材的制备方法，其特征在于，步骤(3)微波烧结：调整微波源输出功率，以20-30℃/min的速率升温至1300-1800℃，微波烧结保温5-80min，然后随炉自然冷却，获得灰蓝色的圆饼状样品。

4.按照权利要求1所述的一种微波烧结阴极覆膜用靶材的制备方法，其特征在于，步骤(3)烧结：在整个烧结过程中，炉腔内保持还原气氛：微波烧结前首先需使用机械泵使炉腔内的真空度小于10Pa，接着通入体积含量为8％H₂的氩氢混合气体，且烧结及冷却过程中持续通入，避免烧结过程中锇发生氧化。

5.按照权利要求1所述的一种微波烧结阴极覆膜用靶材的制备方法，其特征在于，微波烧结实验装置结构：炉腔设有出气孔、进气孔、机械泵连接口，炉腔内坩埚自外而内依次为Al₂O₃外层、氧化锆坩埚、氧化锆小球填充、内层Al₂O₃坩埚，Al₂O₃外层内部侧面设有碳化硅层，炉腔上方均匀分布有三个连续可调(高精度)的微波发生装置，以确保样品均匀暴露于微波场，微波频率为2.45GHz±25MHz；炉腔至坩埚内设有测温孔，温度测量是使用光学高温计，通过在炉顶上一个小的石英窗口测得。

6.按照权利要求1-5任一项所述的方法制备得到的微波烧结阴极覆膜用靶材。

7.按照权利要求1-5任一项所述的方法制备得到的微波烧结阴极覆膜用靶材的应用，用于制备M型阴极表面敷膜。