[发明专利]一种芯片筛选设备有效

专利信息
申请号: 202010441136.1 申请日: 2020-05-22
公开(公告)号: CN111570303B 公开(公告)日: 2021-10-15
发明(设计)人: 李秀碧 申请(专利权)人: 江苏爱矽半导体科技有限公司
主分类号: B07C5/04 分类号: B07C5/04;B07C5/02;B07C5/36
代理公司: 合肥市科融知识产权代理事务所(普通合伙) 34126 代理人: 黄珍丽
地址: 221000 江苏省徐州市经济技*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 芯片 筛选 设备
【权利要求书】:

1.一种芯片筛选设备,其特征在于:其结构包括工作台(1)、检测台(2)、分选机构(3)、测试板(4)、支脚(5),所述工作台(1)的底部安装有四个支脚(5),所述工作台(1)的上端设置有检测台(2)与测试板(4),所述测试板(4)与检测台(2)、分选机构(3)配合,所述分选机构(3)为三足式,所述分选机构(3)组成有转轴(30)、推板(31)、分选导件(32)、传送接头(33)、板架(34),所述转轴(30)连接有三个所述板架(34),所述板架(34)呈水平直线安装有两个以上的分选导件(32),所述传送接头(33)机械连接在板架(34)相对于转轴(30)的另一端,所述板架(34)通过传送接头(33)与传送带连接,所述推板(31)配合在板架(34)上,所述分选导件(32)包括接杆(321)、扩开机构(322)、中吸盘(323)、升降甲板(324)、滑轴(325),所述接杆(321)上活动配合有推板(31),所述扩开机构(322)通过滑轴(325)机械连接在升降甲板(324)的两侧,所述升降甲板(324)上设有中吸盘(323),所述中吸盘(323)穿过板架(34)与测试板(4)配合,所述传送接头(33)由限位板(331)、弹开口(332)、承接座(333)、折合卡板(334)组成,所述限位板(331)与弹开口(332)连接,所述弹开口(332)的两侧与折合卡板(334)配合,所述折合卡板(334)通过承接座(333)连接在板架(34)上,所述扩开机构(322)由折合齿条(221)、支承板(222)、第一弹簧(223)组成,所述折合齿条(221)与支承板(222)连接,所述支承板(222)内设有连接于第一弹簧(223)凹槽接口,所述升降甲板(324)组成有上顶头(240)、拉伸弹片(241)、连接轴(242)、推块(243)、气口(244)、连带件(245),所述上顶头(240)之间用拉伸弹片(241)连接,所述上顶头(240)的上端通过连接轴(242)与推块(243)连接,所述推块(243)配合在气口(244)中,所述连带件(245)设置在连接轴(242)的两侧,所述连带件(245)包括外罩(45a)、排气管(45b)、波纹轴(45c)、第二弹簧(45d)、顶块(45e),所述外罩(45a)包裹在排气管(45b)的表面,所述排气管(45b)与波纹轴(45c)内部相通,所述波纹轴(45c)内部为一个标准大气压强,所述第二弹簧(45d)的两端与波纹轴(45c)两端连接在一起,所述第二弹簧(45d)与波纹轴(45c)平行,所述波纹轴(45c)相对排气管(45b)的另一端设置有顶块(45e),所述顶块(45e)为半圆形结构,所述中吸盘(323)的两侧配合有连接铰轮(23a)与腰片(23b),所述腰片(23b)设置在连带件(245)与连接轴(242)之间,所述腰片(23b)与连接铰轮(23a)采用铰接连接,所述推块(243)的底部与中吸盘(323)的背面连接在一起,并与由上顶头(240)、拉伸弹片(241)组成的伸缩段配合。

2.根据权利要求1所述的一种芯片筛选设备,其特征在于:成批量的芯片在检测时,呈圆形排列放置在测试板(4)上,测试板(4)通过检测台(2)控制,测试完毕之后,不同质量的芯片都会进行标记,分选机构(3)分为优、良、差三个不同等级进行分选,当测试板(4)检测后的芯片旋转至分选机构(3)时,板架(34)首先进行优质量等级的芯片选出,该筛选主要是利用板架(34)上探测头进行辨别,而后再进行良质量等级的芯片选出,再进行差质量等级的芯片选出,以此循环,分选机构(3)在选出芯片时,系统启动分选导件(32),而在此之前,需要将传送带也就是流水线的输送装置与分选机构(3)连接,将传送带扣在限位板(331)的上端,传送带不断推进缩小与板架 (34)的间距,在缩小间距中,弹开口(332)被传送带推进端挤压,往两侧打开的同时与之铰接的折合卡板(334)翘起,扣住传送带,稳定住传送带,启动升降甲板(324)与中吸盘(323),中吸盘(323)吸住标记的芯片,推块(243)带动连接轴(342)缓缓上升,在上升中上顶头(240)牵动拉伸弹片(241)实现升降,而拉伸弹片(241)被牵引到一定距离后,带动底层的上顶头(240)上升,以此类推,升降甲板(324)带动中吸盘(323)取出检测后芯片,当芯片处于板架(34)表面时,推板(31)启动,将芯片推送至传送带上,从而进行成批量的芯片检测,效率高,同时还可避免因为机械手取出带来的芯片损坏问题,当中吸盘(323)配合升降甲板(324)实现升降的同时,中吸盘(323)两侧的连接铰轮(23a)与腰片(23b)同步上升,用连接铰轮(23a)连接的顶块(45e)向上挤压第二弹簧(45d)与波纹轴(45c),腰片(23b)与排气管(45b)贯穿配合,波纹轴(45c)挤压内部气体通过排气管(45b)直接输出到芯片表面,对芯片表面进行清洁,提高后期加工效率。

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