[发明专利]一种半导体结构及其加工工艺及电子产品在审
| 申请号: | 202010432876.9 | 申请日: | 2020-05-21 |
| 公开(公告)号: | CN111640718A | 公开(公告)日: | 2020-09-08 |
| 发明(设计)人: | 王琇如 | 申请(专利权)人: | 杰群电子科技(东莞)有限公司 |
| 主分类号: | H01L23/488 | 分类号: | H01L23/488;H01L23/49;H01L21/60 |
| 代理公司: | 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638 | 代理人: | 王新爱 |
| 地址: | 523000 广东省东莞*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 半导体 结构 及其 加工 工艺 电子产品 | ||
本发明公开一种半导体结构及加工工艺,加工工艺包括以下步骤:S1、提供引线框架,所述引线框架包括相互独立的芯片支架以及引脚;S2、镀锡,分别在所述芯片支架以及所述引脚上镀锡;S3、贴片,将芯片贴装在所述芯片支架上;S4、引脚焊接,将引脚焊接在芯片正面。该方案可以改善产品上锡的均匀性,从而保证产品总厚度的一致性,提高产品生产效率以及产品品质。
技术领域
本发明涉及半导体产品加工技术领域,尤其涉及一种半导体结构及其加工工艺及电子产品。
背景技术
现有的半导体元件的封装中,通常需要将芯片固定在载体上,再工在芯片表面印刷锡膏的方式设置结合材,之后再进行芯片与引脚之间的键合,上述方式中印刷锡膏的均匀性查,难以保证产品的整体厚度趋于一致,容易导致芯片焊接不牢靠,产品合格率、生产效率均受到影响。
发明内容
本发明实施例的一个目的在于:提供一种半导体结构,其能够解决现有技术中存在的上述问题。
本发明实施例的另一个目的在于:提供一种电子产品,其产品合格率高,生产效率高。
为达上述目的,本发明采用以下技术方案:
一方面,提供一种半导体结构,包括芯片、相互独立的芯片支架以及引脚,所述芯片设置在所述芯片支架与所述引脚之间,所述芯片上的焊盘直接与所述引脚电连接。
作为所述的半导体结构的一种优选的技术方案,所述芯片包括芯片正面以及芯片背面,所述芯片正面朝上的设置在所述芯片支架上。
作为所述的半导体结构的一种优选的技术方案,所述引脚具有第一弯折部以及第二弯折部,所述第一弯折部与所述第二弯折部相互平行,所述第一弯折部与所述芯片正面焊接连接,所述第二弯折部与所述芯片支架平齐。
作为所述的半导体结构的一种优选的技术方案,所述第一弯折部与所述第二弯折部通过中间连接部连接,所述第一弯折部、所述中间连接部以及所述第二弯折部为一体结构。
另一方面,提供一种半导体加工工艺,包括以下步骤:
S1、提供引线框架,所述引线框架包括相互独立的芯片支架以及引脚;
S2、镀锡,分别在所述芯片支架以及所述引脚上镀锡;
S3、贴片,将芯片贴装在所述芯片支架上;
S4、引脚焊接,将引脚焊接在芯片正面。
作为所述的半导体加工工艺的一种优选的技术方案,步骤S2镀锡包括:
S21、第一次镀锡,在芯片支架上进行镀锡;
S22、第二次镀锡,在引脚上进行镀锡。
作为所述的半导体加工工艺的一种优选的技术方案,步骤S3贴片采用贴片机进行,所述贴片机采用热贴片机,所述热贴片机的芯片焊接部加热到200至500℃对芯片进行贴片键合。
作为所述的半导体加工工艺的一种优选的技术方案,步骤S3贴片采用贴片机进行,所述贴片机为芯片抓取装置,所述贴片过程中,在所述芯片支架的底部对应所述芯片的位置进行加热,使镀锡的温度达到200至500℃。
作为所述的半导体加工工艺的一种优选的技术方案,于所述镀锡之前还包括表面处理,对所述引线支架以及所述引脚分别进行去氧化处理。
再一方面,提供一种电子产品,其具有如上所述的半导体结构。
本发明的有益效果为:可以改善产品上锡的均匀性,从而保证产品总厚度的一致性,提高产品生产效率以及产品品质。
附图说明
下面根据附图和实施例对本发明作进一步详细说明。
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