[发明专利]负氧离子标准源补气装置及补气方法

权利要求书

1.一种负氧离子标准源补气装置，其特征在于，所述装置包括：供气模块(1)、质量流量控制器(2)、补气接头(3)和气体管道(4)；

所述供气模块(1)的出气口通过所述气体管道(4)与所述质量流量控制器(2)的输入端连通，所述供气模块(1)用于提供气体，所述质量流量控制器(2)的输出端通过所述气体管道(4)与所述补气接头(3)连通，所述补气接头(3)还能够与负氧离子检测仪器(8)的采样进气口和负氧离子标准源(9)的出气口连通。

2.根据权利要求1所述的负氧离子标准源补气装置，其特征在于，所述装置还包括三通接头(5)，所述质量流量控制器(2)的输出端与所述三通接头(5)的一个接头连通，所述补气接头(3)上开设有正交布置的第一接头(31)、第二接头(32)、第三接头(33)和第四接头(34)，所述第一接头(31)与所述第四接头(34)正对，所述第二接头(32)与所述第三接头(33)正对，所述三通接头(5)的另外两个接头分别与所述第二接头(32)和所述第三接头(33)连通，所述第一接头(31)能够与所述负氧离子标准源(9)的出气口连通，所述第四接头(34)能够与所述负氧离子检测仪器(8)的采样进气口连通。

3.根据权利要求2所述的负氧离子标准源补气装置，其特征在于，所述补气接头(3)的所述第一接头(31)上安装有金属管(6)，所述金属管(6)的外端用于连接所述负氧离子标准源(9)的出气口，所述金属管(6)的内端口与所述第四接头(34)的内端口处于同一平面。

4.根据权利要求3所述的负氧离子标准源补气装置，其特征在于，所述金属管(6)采用铝合金制备。

5.根据权利要求1或4所述的负氧离子标准源补气装置，其特征在于，所述补气接头(3)采用尼龙制备。

6.根据权利要求1或2所述的负氧离子标准源补气装置，其特征在于，所述装置还包括减压阀，所述减压阀的进口和出口分别与所述供气模块(1)的出气口和所述质量流量控制器(2)的输入端连通。

7.根据权利要求1或2所述的负氧离子标准源补气装置，其特征在于，所述质量流量控制器(2)上设置有显示仪(7)，所述显示仪(7)用于显示所述质量流量控制器(2)的流量。

8.根据权利要求1或2所述的负氧离子标准源补气装置，其特征在于，所述供气模块(1)为氮气瓶。

9.一种补气方法，所述补气方法利用如权利要求1至8中任一项所述的负氧离子标准源补气装置实现，包括：

确定负氧离子检测仪器(8)和负氧离子标准源(9)的工作流量；

根据负氧离子检测仪器(8)和负氧离子标准源(9)的工作流量，计算确定供气模块(1)的供气流量；

将补气接头(3)与负氧离子检测仪器(8)的采样进气口和负氧离子标准源(9)的出气口连通；

根据确定的供气流量，调节质量流量控制器(2)，使质量流量控制器(2)的流量与供气流量相同。

10.根据权利要求9所述的补气方法，其特征在于，所述供气流量等于所述负氧离子检测仪器(8)的工作流量与所述负氧离子标准源(9)的工作流量的差值。