[发明专利]一种电子束扫描波纹管在审
申请号: | 202010425643.6 | 申请日: | 2020-05-19 |
公开(公告)号: | CN111463092A | 公开(公告)日: | 2020-07-28 |
发明(设计)人: | 李琦;严鹏程;罗德坤;曾利 | 申请(专利权)人: | 四川智研科技有限公司 |
主分类号: | H01J25/42 | 分类号: | H01J25/42;H01J23/24;H01J23/12 |
代理公司: | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人: | 蒋海燕 |
地址: | 621000 四川省绵阳*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 电子束 扫描 波纹管 | ||
本发明公开了一种电子束扫描波纹管,包括:用于提供电子束扫描磁场的磁极;放置在磁极之间用于隔离外部大气的波纹管,波纹管内部设置为真空环境;电子束,其在波纹管内部真空环境中飞行。波纹管波高与扫描磁场频率和磁场强度呈正相关,波距与扫描磁场频率和磁场强度呈负相关,壁厚与扫描磁场频率和磁场强度呈负相关;本发明的电子束扫描波纹管,采用波纹结构,增加了管道的抗压能力,可以减薄壁厚到0.1~0.5mm,增加了管壁的电阻,减少涡流损耗;通过减薄管壁和延长涡流路径两个途径,大幅度减少了涡流损耗,扫描频率可以从100Hz左右,提高到几千赫兹甚至上万赫兹,满足超高速生产的需要。
技术领域
本发明属于电子束扫描装置技术领域,更具体地说,本发明涉及一种电子束扫描波纹管。
背景技术
目前各种工业用电子加速器都是在真空中产生所需的电子束,然后再经过引出窗引出到大气中对物品进行电子束处理。其中大部分电子加速器产生的都是截面尺寸较小的点状电子束,需要将其展开成大尺寸的带状电子束,以便对大尺寸物体进行处理。常用的方式就是通过交变磁场,将点状电子束扫描展开为带状电子束。
产生交变磁场的装置一般都是放置在真空系统外部的大气环境中,电子束在真空系统内部运动,因此,需要真空管道来隔离外部大气和内部真空系统。
发明内容
本发明的一个目的是解决至少上述问题和/或缺陷,并提供至少后面将说明的优点。
为了实现根据本发明的这些目的和其它优点,提供了一种电子束扫描波纹管,包括:
用于提供电子束扫描磁场的磁极;
放置在磁极之间用于隔离外部大气的波纹管,所述波纹管内部设置为真空环境;电子束,其在所述波纹管内受到扫描磁场作用,由点状电子束扫描展开为带状电子束。
优选的是,其中,所述波纹管波高与扫描磁场频率和磁场强度呈正相关,波纹管波距与扫描磁场频率和磁场强度呈负相关,波纹管壁厚与扫描磁场频率和磁场强度呈负相关;拉伸波纹管可减小波纹管波高,增大波纹管波距;压缩波纹管可增大波纹管波高,减小波纹管波距。
优选的是,其中,所述波纹管的长度大于等于磁极长度。
优选的是,其中,所述波纹管的横截面形状可以是圆形、椭圆形、矩形等形状中的一种。
优选的是,其中,所述波纹管材质优选为不锈钢材质。
优选的是,其中,所述波纹管优选为304和316型号不锈钢,
优选的是,其中,所述波纹管优选为高电阻率的不锈钢材质以及其他合金材料。
优选的是,其中,所述波纹管波高优选为3~15mm。
优选的是,其中,所述波纹管波距优选为0.5~5mm。
优选的是,其中,所述波纹管壁厚优选为0.1~0.5mm。
本发明至少包括以下有益效果:本发明的电子束扫描波纹管,采用波纹结构,增加了抗压能力,可以减薄壁厚到0.1~0.5mm,增加了管壁的电阻,减少涡流损耗;本发明的电子束扫描波纹管,采用波纹结构,增加了电流路径,管壁的电阻相应增加,减少了涡流损耗;通过减薄管壁和延长涡流路径两个途径,大幅度减少了涡流损耗,扫描频率可以从100Hz左右,提高到几千赫兹甚至上万赫兹,满足超高速生产的需要。
本发明的其它优点、目标和特征将部分通过下面的说明体现,部分还将通过对本发明的研究和实践而为本领域的技术人员所理解。
附图说明:
图1为本发明提供的电子束扫描波纹管结构示意图。
具体实施方式:
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