[发明专利]一种电子束扫描波纹管

权利要求书

1.一种电子束扫描波纹管，其特征在于，包括：

用于提供电子束扫描磁场的磁极；

放置在磁极之间用于隔离外部大气的波纹管，所述波纹管内部设置为真空环境；电子束，其在所述波纹管内受到扫描磁场作用，由点状电子束扫描展开为带状电子束。

2.如权利要求1所述的电子束扫描波纹管，其特征在于，所述波纹管波高与扫描磁场频率和磁场强度呈正相关，波纹管波距与扫描磁场频率和磁场强度呈负相关，波纹管壁厚与扫描磁场频率和磁场强度呈负相关；拉伸波纹管可减小波纹管波高，增大波纹管波距；压缩波纹管可增大波纹管波高，减小波纹管波距。

3.如权利要求1所述的电子束扫描波纹管，其特征在于，所述波纹管的长度大于等于磁极长度。

4.如权利要求1所述的电子束扫描波纹管，其特征在于，所述波纹管的横截面形状可以是圆形、椭圆形、矩形等形状中的一种。

5.如权利要求1所述的电子束扫描波纹管，其特征在于，所述波纹管材质采用不锈钢材质。

6.如权利要求1所述的电子束扫描波纹管，其特征在于，所述波纹管优选为304或316型号不锈钢。

7.如权利要求1所述的电子束扫描波纹管，其特征在于，所述波纹管优选为高电阻率的不锈钢材质或其他合金材料。

8.如权利要求1所述的电子束扫描波纹管，其特征在于，所述波纹管波高优选为3～15mm。

9.如权利要求1所述的电子束扫描波纹管，其特征在于，所述波纹管波距优选为0.5～5mm。

10.如权利要求1所述的电子束扫描波纹管，其特征在于，所述波纹管壁厚优选为0.1～0.5mm。