[发明专利]一种应用于先进控制系统的线宽控制方法

权利要求书

1.一种应用于先进控制系统的线宽控制方法，其特征在于，包括如下步骤：

S01：设置第1次曝光的原始曝光能量E_exp(1)，并进行曝光；

S02：第1次曝光完成之后，计算第1次曝光的实际曝光能量E_l(1)以及预测曝光能量E_p(1)，且E_p(1)＝E(1)/f(1)；

S03：重复步骤S01-S02，设置第x次曝光的原始曝光能量E_exp(x)等于第x-1次曝光的预测曝光能量E_p(x-1)，并进行曝光，再计算第x次曝光的实际曝光能量E_l(x)以及预测曝光能量E_p(x)；直至完成整个曝光过程；

其中，实际曝光能量E_l(x)根据第x次曝光的原始曝光能量以及线宽进行计算；E(x)表示采用平均方法计算出的初始预测曝光能量，f(x)为单调递增的调整公式，f(x)∈(0,1)，且随着x的增大，f(x)趋近于1，x为大于0的整数。

2.根据权利要求1所述的一种应用于先进控制系统的线宽控制方法，其特征在于，所述步骤S02中实际曝光能量E_l(x)＝[E_exp(x)-Slop×(CD_target–CD_measure)]×(SSC₀/SSC_m)；其中，CD_target和CD_measure分别为第x次曝光的线宽目标值和线宽测量值，SSC₀和SSC_m为曝光设备位置传感系数的初始值和测量值，Slop为线宽和曝光能量的转换系数。

3.根据权利要求1所述的一种应用于先进控制系统的线宽控制方法，其特征在于，所述调整公式f(x)＝1-Q^x，Q为调整系数，且Q∈(0,1)。

4.根据权利要求1所述的一种应用于先进控制系统的线宽控制方法，其特征在于，所述步骤S02中初始预测曝光能量E(x)＝E_l(x)×(1-K)+E_p(x-1)×K；其中，K为平均系数，K∈(0,1)。

5.根据权利要求4所述的一种应用于先进控制系统的线宽控制方法，其特征在于，所述调整公式f(x)＝1-K^x。

6.根据权利要求4所述的一种应用于先进控制系统的线宽控制方法，其特征在于，所述平均系数K＝(1-B)×D，其中，B为权重系数，D为时间系数。

7.根据权利要求6所述的一种应用于先进控制系统的线宽控制方法，其特征在于，所述时间系数D＝C[t-(t-1)]，C(t)＝exp(-t/T)，T表示整个曝光过程的持续时间，且第x次曝光的时刻为开始曝光之后的第t时刻。

8.根据权利要求1所述的一种应用于先进控制系统的线宽控制方法，其特征在于，所述第一次曝光的原始曝光能量E_exp(1)＝0。