[发明专利]一种紫外宽光谱光刻镜头

说明书

本发明一种紫外宽光谱光刻镜头，其特征在于，镜头包括：沿紫外光源到目标的顺序依次设置的紫外光源、第一镜组、第二镜组第三镜组以及第四镜组，紫外光源包括数字微反射镜以及第一透镜，第一透镜为双或平凸透镜；第一镜组包括：沿紫外光源到目标的顺序依次设置的第一数量个正透镜以及第二数量个负透镜，且第一镜组的组合焦距为正；第二镜组包括：沿紫外光源到目标的顺序依次设置的第三数量个正透镜以及第四数量个负透镜，且第二镜组的组合焦距为正，第二镜组中距离第一镜组最近的透镜可以沿光轴方向运动；第三镜组包括：沿紫外光源到目标的顺序依次设置的第五数量个正透镜，且第三镜组的组合焦距为正。应用本发明实施例，可以降低光刻成本。

技术领域

本发明涉及电路板光刻技术领域，具体涉及一种紫外宽光谱光刻镜头。

背景技术

目前，随着对高密度线路板需求的不断增加，传统的PCB(Printed CircuitBoard，印刷电路板)接触式曝光机已经不能满足高密度的需求，需要经常更换掩膜，导致使用成本较高。因此，目前常用采用新的数字曝光机，但是，这种数字曝光机通常采用单一波长的紫外激光光源，该光源的中心波长为405nm，并且该光源匹配的是405nm专用的光刻镜头，这就需要用到专用干膜，而专用干膜的价格相比普通的干膜，成本要高出许多，因此，现有的数字光刻机存在光刻成本较高的技术问题。

为了解决上述问题，现有技术中申请号为201811635995.3的发明专利申请公开了提供了一种双远心投影光刻镜头，其设计合理，具有高远心度、低畸变的特点，适用于长工作距离的场景,包括从物方至像方依次设置的前透镜群组、光阑、后透镜群组；所述前透镜群组包括从物方至像方依次设置的：第一透镜，具有正光焦度；第二透镜，具有负光焦度；第三透镜，具有正光焦度；第四透镜，具有负光焦度；第五透镜，具有负光焦度；所述后透镜群组包括从物方至像方依次设置的：第六透镜，具有负光焦度；第七透镜，具有正光焦度；第八透镜，具有正光焦度；第九透镜；第十透镜，具有正光焦度；第十一透镜，负光焦度。

但是，现有的PCB光刻技术使用的激光工作波长一般是405nm，需要用到专用干膜，使用的镜头也是单一波长的镜头，并不能解决现有技术使用成本较高的问题。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于如何降低光刻成本。

本发明通过以下技术手段实现解决上述技术问题的：

本发明实施例提供了一种紫外宽光谱光刻镜头，所述镜头包括：沿紫外光源到目标的顺序依次设置的紫外光源、第一镜组、第二镜组第三镜组以及第四镜组，其中，

紫外光源发射紫外光，以使紫外光照射在第一镜组的入光面上，所述紫外光源包括数字微反射镜以及第一透镜，所述第一透镜为双凸透镜或平凸透镜；

所述第一镜组包括：沿紫外光源到目标的顺序依次设置的第一数量个正透镜以及第二数量个负透镜，且第一镜组的组合焦距为正，其中，所述第一数量包括：四，第二数量包括：二；

所述第二镜组包括：沿紫外光源到目标的顺序依次设置的第三数量个正透镜以及第四数量个负透镜，且第二镜组的组合焦距为正，第二镜组中距离第一镜组最近的透镜可以沿光轴方向运动，其中，所述第三数量包括：三，第四数量包括：二；

所述第三镜组包括：沿紫外光源到目标的顺序依次设置的第五数量个正透镜，且第三镜组的组合焦距为正，其中，所述第五数量包括：二。

本发明的目的是提供一种数字光刻用紫外宽光谱的镜头，可以覆盖360nm-410nm波长范围，符合普通干膜的光谱响应范围，因此更换光源，配合本发明实施例的宽光谱镜头，即可实现对普通干膜的刻蚀，不需要使用专用的干膜，因此，可以极大的降低生产成本。

可选的，所述第一透镜的物面侧曲率半径为：90mm≤R≤∞，所述第一透镜的像面侧曲率半径为：90mm≤R≤∞，其中，所述R为曲率半径。