[发明专利]一种紫外宽光谱光刻镜头

权利要求书

1.一种紫外宽光谱光刻镜头，其特征在于，所述镜头为：沿紫外光源到目标的顺序依次设置的紫外光源、第一镜组、第二镜组、 第三镜组，其中，

紫外光源发射紫外光，以使紫外光照射在第一镜组的入光面上，所述紫外光源为数字微反射镜以及第一透镜，所述第一透镜为双凸透镜或平凸透镜；

所述第一镜组为：沿紫外光源到目标的顺序依次设置的第一数量个正透镜以及第二数量个负透镜，且第一镜组的组合焦距为正，其中，所述第一数量为：四，第二数量为：二；

所述第二镜组为：沿紫外光源到目标的顺序依次设置的第三数量个正透镜以及第四数量个负透镜，且第二镜组的组合焦距为正，第二镜组中距离第一镜组最近的透镜可以沿光轴方向运动，其中，所述第三数量为：三，第四数量为：二；

所述第三镜组为：沿紫外光源到目标的顺序依次设置的第五数量个正透镜，且第三镜组的组合焦距为正，其中，所述第五数量为：二。

2.根据权利要求1所述的一种紫外宽光谱光刻镜头，其特征在于，所述第一透镜的物面侧曲率半径为：90mm≤R≤∞，所述第一透镜的像面侧曲率半径为：90mm≤R≤∞，其中，所述R为曲率半径。

3.根据权利要求2所述的一种紫外宽光谱光刻镜头，其特征在于，所述第一镜组包括：沿紫外光源到目标的顺序依次设置的第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜以及第七透镜，其中，

所述第二透镜的物面侧曲率半径为：90mm≤R≤∞，像面侧曲率半径为：50mm≤R≤200mm；

所述第三透镜的物面侧曲率半径为：100mm≤R≤250mm，像面侧曲率半径为：100mm≤R≤500mm；

所述第四透镜的物面侧曲率半径为：40mm≤R≤80mm，像面侧曲率半径为：200mm≤R≤∞；

所述第五透镜的物面侧曲率半径为：40mm≤R≤80mm，像面侧曲率半径为：150mm≤R≤∞；

所述第六透镜的物面侧曲率半径为：200mm≤R≤∞，像面侧曲率半径为：50mm≤R≤150mm；

所述第七透镜的物面侧曲率半径为：100mm≤R≤500mm，像面侧曲率半径为：25mm≤R≤60mm；

第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜以及第六透镜为双凸或者平凸透镜，第七透镜为双凹透镜。

4.根据权利要求3所述的一种紫外宽光谱光刻镜头，其特征在于，所述第二镜组(30)包括：沿紫外光源到目标的顺序依次设置的第八透镜、第九透镜、第十透镜、第十一透镜、第十二透镜，其中，

所述第八透镜的物面侧曲率半径为：200mm≤R≤∞，像面侧曲率半径为：30mm≤R≤100mm；

所述第九透镜的物面侧曲率半径为：30mm≤R≤100mm，像面侧曲率半径为：100mm≤R≤300mm；

所述第十透镜的物面侧曲率半径为：25mm≤R≤60mm，像面侧曲率半径为：30mm≤R≤80mm；

所述第十一透镜的物面侧曲率半径为：200mm≤R≤∞，像面侧曲率半径为：20mm≤R≤60；

所述第十二透镜的物面侧曲率半径为：25mm≤R≤60mm，像面侧曲率半径为：50mm≤R≤150mm；

第八透镜以及第十一透镜为双凸或者平凸透镜，第九透镜为双凸透镜，第十透镜以及第十一透镜为凹凸透镜，第十二透镜为双凹透镜。

5.根据权利要求4所述的一种紫外宽光谱光刻镜头，其特征在于，所述第三镜组包括：沿紫外光源到目标的顺序依次设置的第十三透镜以及第十四透镜，其中，所述第十三透镜的物面侧曲率半径为：100mm≤R≤800mm，像面侧曲率半径为：50mm≤R≤150mm；

第十四透镜的物面侧曲率半径为：100mm≤R≤200mm，像面侧曲率半径为：200mm≤R≤∞；

第十三透镜为凹凸透镜，第十四透镜为双凸或者平凸透镜。