[发明专利]半导体装置及半导体装置的制造方法在审
| 申请号: | 202010407054.5 | 申请日: | 2020-05-14 |
| 公开(公告)号: | CN112563287A | 公开(公告)日: | 2021-03-26 |
| 发明(设计)人: | 板野由佳;小田穣;新居雅人 | 申请(专利权)人: | 铠侠股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L27/11573 | 分类号: | H01L27/11573;H01L27/11582;G11C16/26;G11C16/04 |
| 代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 张世俊 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 半导体 装置 制造 方法 | ||
1.一种半导体装置,具备:第1芯片,包含第1衬底、设置在所述第1衬底的第1电路、及连接于所述第1电路的第1接合金属;
第2芯片,包含具有P型阱区域及N型阱区域的第2衬底、设置在所述第2衬底且包含第1晶体管的第2电路、以及连接于所述第2电路及所述第1接合金属的第2接合金属,且设置在所述第1芯片上;以及
第1导电体,从所述第2芯片的上方连接于所述N型阱区域;且
所述P型阱区域配置在所述第1晶体管的栅极电极与所述N型阱区域之间。
2.根据权利要求1所述的半导体装置,其中
所述N型阱区域不包围所述P型阱区域。
3.根据权利要求1所述的半导体装置,其中
所述N型阱区域不与所述第1衬底的设置着所述第1电路的面相接。
4.根据权利要求1所述的半导体装置,其中
所述N型阱区域不与所述第1衬底的相对于设置着所述第1电路的面为相反侧的面相接。
5.根据权利要求1所述的半导体装置,其中
所述第2衬底包含分别对应于所述第1晶体管的漏极及源极的第1及第2N型半导体区域,且
所述N型阱区域与所述第1及第2N型半导体区域分离。
6.根据权利要求1所述的半导体装置,其中
所述N型阱区域包含第1扩散层、及所述第1扩散层上的第2扩散层,且
所述第2扩散层中的N型杂质浓度比所述第1扩散层中的N型杂质浓度高。
7.根据权利要求1所述的半导体装置,其中
所述N型阱区域含有磷或砷。
8.根据权利要求1所述的半导体装置,其还具备所述第1导电体与所述第2衬底之间的第1绝缘体层。
9.根据权利要求1所述的半导体装置,其还具备:第2导电体,与所述第1导电体隔开且贯通所述第2衬底而设置;及所述第2导电体与所述第2衬底之间的第2绝缘体层;且
所述第2芯片还包含与所述第2导电体接触的接点。
10.根据权利要求1所述的半导体装置,其还具备所述第1导电体层上的焊垫。
11.根据权利要求10所述的半导体装置,其中
所述焊垫含有铝。
12.根据权利要求1所述的半导体装置,其中
所述第1接合金属及所述第2接合金属分别含有铜。
13.根据权利要求1所述的半导体装置,其中
所述第1接合金属与所述第2接合金属之间接合。
14.根据权利要求1所述的半导体装置,其中
所述第1芯片还具备:多个第3导电体,在所述第1衬底的上方相互分离;及柱,贯通所述多个第3导电体而设置,且其与所述第3导电体的交叉部分作为存储单元发挥功能;且所述多个第3导电体中的1个第3导电体电连接于所述第1接合金属。
15.根据权利要求14所述的半导体装置,其中
所述第2芯片还包含行解码器,所述行解码器设置在所述第2衬底并电连接于所述第2接合金属。
16.根据权利要求1所述的半导体装置,其中
在第1时刻,向所述栅极电极施加第1电压,向所述第1导电体施加高于所述第1电压的第2电压。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的





