[发明专利]压力传感器在审
申请号: | 202010383110.6 | 申请日: | 2020-05-08 |
公开(公告)号: | CN113624394A | 公开(公告)日: | 2021-11-09 |
发明(设计)人: | 邹来福;陈静;安文广;吴清杰 | 申请(专利权)人: | 精量电子(深圳)有限公司 |
主分类号: | G01L19/06 | 分类号: | G01L19/06 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 汪洋 |
地址: | 518057 广东省深圳市南山区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压力传感器 | ||
1.一种压力传感器,其特征在于,包括:
陶瓷基板(100),在其顶面上打印有预定的电路图(110)并贴装有预定的电子器件(121、122、123);和
陶瓷盖子(200),具有顶壁(210)、周壁(220)和由所述顶壁(210)和所述周壁(220)限定的容纳腔(201),
所述陶瓷盖子(200)的周壁(220)的底面(220a)密封地连接到所述陶瓷基板(100)的顶面上,所述电子器件(121、122、123)容纳在所述陶瓷盖子(200)的容纳腔(201)中。
2.根据权利要求1所述的压力传感器,其特征在于:
所述压力传感器还包括利用LTCC技术集成在所述陶瓷盖子(200)中的导电端子(211);
所述电路图(110)包括导电焊垫(111),所述导电端子(211)与所述导电焊垫(111)焊接在一起。
3.根据权利要求2所述的压力传感器,其特征在于:
所述陶瓷基板(100)呈圆板状,所述陶瓷盖子(200)呈圆筒状,并且所述陶瓷基板(100)的直径等于所述陶瓷盖子(200)的外直径。
4.根据权利要求3所述的压力传感器,其特征在于:
所述导电端子(211)集成到所述陶瓷盖子(200)的周壁(220)中,并沿竖直方向穿过所述陶瓷盖子(200)。
5.根据权利要求4所述的压力传感器,其特征在于:
在所述陶瓷盖子(200)的周壁(220)的内侧形成半圆柱形加强筋(220b),所述导电端子(211)集成到所述周壁(220)上的加强筋(220b)中。
6.根据权利要求2所述的压力传感器,其特征在于:
所述导电端子(211)具有从所述陶瓷盖子(200)的周壁(220)的底面外露出的第一圆盘形焊接部;
所述导电焊垫(111)的形状和尺寸与所述第一圆盘形焊接部一致,并与所述第一圆盘形焊接部焊接在一起。
7.根据权利要求6所述的压力传感器,其特征在于:
所述导电端子(211)具有从所述陶瓷盖子(200)的顶面外露出的第二圆盘形焊接部,所述第二圆盘形焊接部适于与外接导线焊接在一起。
8.根据权利要求1所述的压力传感器,其特征在于:
在所述陶瓷基板(100)的顶面上打印有与所述陶瓷盖子(200)的周壁(220)的底面(220a)对应的环形焊接带(130),所述陶瓷盖子(200)和所述陶瓷基板(100)通过所述环形焊接带(130)密封地焊接在一起。
9.根据权利要求1所述的压力传感器,其特征在于:
所述陶瓷盖子(200)的周壁(220)的底面(220a)通过粘结剂密封地粘结到所述陶瓷基板(100)的顶面上。
10.根据权利要求1所述的压力传感器,其特征在于:
所述电子器件(121、122、123)包括压力检测部件(121)、集成芯片(122)和多个被动电子元件(123),所述压力检测部件(121)、集成芯片(122)和多个被动电子元件(123)通过所述电路图(110)上的导电迹线彼此电连接。
11.根据权利要求10所述的压力传感器,其特征在于:
所述压力检测部件(121)位于所述陶瓷基板(100)的正中心,并且在所述陶瓷基板(100)上形成有与所述压力检测部件(121)对应的中心通孔(101)。
12.根据权利要求1所述的压力传感器,其特征在于:
所述压力传感器整体上呈圆形纽扣状,并且所述压力传感器的直径不大于20mm,高度不大于5mm。
13.根据权利要求1所述的压力传感器,其特征在于:
所述陶瓷基板(100)和所述陶瓷盖子(200)由相同的陶瓷材料制成,使得所述陶瓷基板(100)和所述陶瓷盖子(200)具有相同的热膨胀系数。
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