[发明专利]基于多重自由网格的化学机械研磨工艺缺陷处理方法

权利要求书

1.一种基于多重自由网格的化学机械研磨工艺缺陷处理方法，包括：

步骤A.版图读入，获取版图内部结构信息；

步骤B.CMP模拟，初步确定CMP局部缺陷产生条件；

步骤C.根据步骤B进行CMP敏感区域的提取，并将多边形敏感区域分割为矩形和三角形组合，获得待处理空白区域矩形集；

步骤D.在步骤C的矩形集的一个矩形敏感区域外，建立一级网格；

步骤E.在步骤C的矩形集的一个矩形敏感区域和步骤D建立的一级网格间，建立二级网格；

步骤F.等效参数提取。

2.根据权利要求1所述的基于多重自由网格的化学机械研磨工艺缺陷处理方法，其中，所述步骤F后还包括：

步骤G.CMP模拟判定是否产生局部缺陷，并标注缺陷位置和结构信息，进行冗余金属填充。

3.根据权利要求1所述的基于多重自由网格的化学机械研磨工艺缺陷处理方法，其中，所述步骤B中确定CMP局部缺陷产生条件为间距大于最小不可填充距离d时将产生CMP局部缺陷。

4.根据权利要求1所述的基于多重自由网格的化学机械研磨工艺缺陷处理方法，其中，所述步骤E包括：

步骤E1：设定一级网格的初始长度为GL₀，二级网格的长度差值为ΔGL′，一级网格长度为GL，一级网格宽度为GW，整数值N＞2；

步骤E2：判断是否GW≥S+N×ΔGL′；如果是，则以矩形敏感区域St_i形心为中心，GL为矩形二级网格长度GL′，GL₀+2×ΔGL′为矩形二级网格宽度GW′，划分二级网格G′_i；

步骤E3：如果否，则调整一级网格宽度，使得GW＝S+N×ΔGL′；并以矩形敏感区域St_i形心为中心，GL为矩形二级网格长度GL′，GL+2×ΔGL′为矩形二级网格宽度GW′，划分二级网格G′_i。

5.根据权利要求1所述的基于多重自由网格的化学机械研磨工艺缺陷处理方法，其中，所述步骤F包括：

步骤F1：简化二级网格内中心区结构信息，

其中，A_i为二级网格内第i个金属线的面积；

步骤F2：简化邻近区结构信息，周边结构密度为

其中，S_total为一级网格内金属线总面积；

步骤F3：导入工艺信息；

步骤F4：利用接触力学理论计算，改变结构信息，计算中心区上表面压力P_up和下表面压力P_down并拟合，则在步骤A条件下有：

其中，Pe为网格内金属线总周长，W1为中心区线宽，S1为中心区金属线间距，W2为邻近区线宽，S2为邻近区金属线间距，Pe为网格内金属线总周长；

步骤F5：利用步骤F4相同方法，计算标准结构，待处理网格内部仅由一组等效线宽W3、等效间距S3的结构组成时的上表面压力P_up和下表面压力P_down，并获得关系式：

步骤F6：假定公式(3)＝(5)，(4)＝(6)，解此方程组即可获得等效线宽和等效间距。

6.根据权利要求2所述的基于多重自由网格的化学机械研磨工艺缺陷处理方法，其中，所述步骤G包括：

步骤G1：以敏感区域中心点为中心，D为正方形边长，划分自由网格；

步骤G2：利用步骤D确定的网格内部等效参数，并进行CMP模拟，判断是否产生CMP局部缺陷；

步骤G3：标注缺陷位置和结构信息；

步骤G4：根据步骤G3进行冗余金属填充。