[发明专利]开盖部件、开盖装置与抽取系统

说明书

本发明公开了一种开盖部件、开盖装置与抽取系统。所述抽取系统包括开盖装置与抽取组件，其中开盖装置包括对位组件与具有开盖部件的开盖组件，其中开盖部件包括针柱架、多个无动力针柱与传动件。所述抽取系统可通过开盖装置的对位组件以辨识桶身及其盖体的位置，接着，开盖组件的开盖部件透过无动力针柱贴合盖体表面后可旋转开启盖体，最后，抽取组件移动到桶身的开口处以抽取桶身装载的内容物。

技术领域

本发明关于一种开盖部件、开盖装置与抽取系统。

背景技术

在半导体与电子厂中，常需于各个制程中使用相应的化学药剂，例如半导体平坦化制程中的研磨液(slurry)。化学药剂通常储存于化液桶中，且化液桶的顶部常配有两个盖体，以密封化液桶的开口。当欲抽取或回填化学药剂时，需先将盖体移除以进行后续步骤。一般而言，化液桶的盖体为圆形的实心盖体，且具有侧边牙纹以及顶部的纹路(pattern)(例如，十字凹槽或多角形凹槽)。请参照图1，图1为现有技术的传统开盖方法的示意图，传统的开盖方式多为人工操作，即，作业人员A0使用开盖器具A1对盖体L1顶部的纹路施力，以开启或密封盖体L1。然而，传统的开盖方式使作业人员暴露于化学物质泄漏或爆炸的风险中。

为了改善安全生产工作的问题，多种自动化开盖设备已被提出，其中多数是以机械取代人力开启盖体。然而，因为化液桶盖体的顶部纹路有多种样式，所以在使用自动化开盖设备时，需预先替换符合盖体态样的开盖治具后，才可使用自动化开盖设备进行开盖步骤，此方法虽可提升操作人员的安全性，却无法改善作业效率的问题。另外，并非每一个自动化开盖设备都可以替换开盖治具，故不具有泛用性。

发明内容

本发明的目的在于解决上述技术问题提供一种开盖部件、开盖装置与抽取系统，可降低工安风险与提升作业效率。

为了达成上述目的，本发明采用以下技术方案：

本发明实施例提供的一种开盖部件包括针柱架、多个无动力针柱以及传动件。所述无动力针柱可动地设置于针柱架，且系用以根据盖体表面的纹路(pattern)对应地移动以贴合盖体表面。所述传动件连接针柱架，于接收动力后带动针柱架旋转以开启盖体。

本发明实施例提供的一种开盖装置包括对位组件以及开盖组件。所述对位组件具有两个对位装置且彼此位于相对的两端，对位组件可以移动以及两个对位装置可彼此远离或靠近，以辨识桶身及其盖体的位置。所述开盖组件具有两个如前述的开盖部件且彼此位于相对的两端，并系与对位组件位于同一平面，其中两个开盖部件可彼此远离或靠近。对位组件与开盖组件的动力由动力源提供，在对位组件辨识盖体的位置后，开盖组件据此移动到盖体的上面，并于两个开盖部件的多个无动力针柱贴合盖体表面后旋转开启盖体。

可选地，开盖组件的两个开盖部件更包括裙件与抽气装置，其中裙件系包覆于无动力针柱的外围以形成内部空间，以及抽气装置系连接开盖部件。在无动力针柱贴合盖体表面并旋转开启盖体时，所述抽气装置对内部空间抽气以形成仿真空环境，以密合开盖部件与盖体。

可选地，开盖组件更包括第一移动件，其中第一移动件的两端分别连接有开盖部件，使两个开盖部件可彼此远离或靠近。

可选地，对位组件的每一个对位装置为超音波测距仪、红外线测距仪或对位镜头。

本发明实施例提供的抽取系统包括如前述其中之一的开盖装置与抽取组件，其中抽取组件具有两个抽取部件且彼此位于相对的两端，且两个抽取部件可彼此远离或靠近。在开盖装置开启桶身的盖体后，抽取组件移动到桶身的开口处以抽取桶身装载的内容物。

可选地，抽取组件与开盖装置的开盖组件形成直角交错，且更包括第二移动件，其中第二移动件的两端分别连接抽取部件，使两个抽取部件可彼此远离或靠近。

可选地，抽取系统更包括桶身固定装置，设置于开盖装置与抽取组件的下方。

可选地，桶身固定装置更包括至少一个秤重装置，设置于桶身固定装置，用以监控桶身及其内容物的重量。