[发明专利]一种光定向沉积池及其使用方法

说明书

本发明涉及电泳沉积技术领域，尤其是涉及一种光定向沉积池及其使用方法，包括垫层，所述垫层上开设有贯穿自身的沉积槽，垫层的两侧面设置有对沉积槽进行密封的第一导电玻璃和第二导电玻璃，第一导电玻璃与垫层可拆卸连接，第一导电玻璃和第二导电玻璃分别与同一电源的负极、正极相连，第一导电玻璃靠近垫层的侧面上与沉积槽对应的位置上设置有光敏涂层，第一导电玻璃远离光敏涂层的侧面上放置有掩模，具有能够形成图案化的沉积层，并且可以进行组分差异化沉积的优点。

技术领域

本发明涉及电泳沉积技术领域，尤其是涉及一种光定向沉积池及其使用方法。

背景技术

目前光定向沉积是由于光照在光敏材料上产生电子空穴对，从而提高载流子密度，并且在外加电压作用下就会在两电极间产生非均匀电场，进而使带电粒子受到电场力沉积到电极表面的一种新型沉积技术。

现有的授权公告号为CN206204450U的中国专利公开了一种用于光定向沉积的电泳槽，所述电泳槽为上方开口的长方体，所述长方体由一横板不完全分隔为上室和下室，所述横板的一侧边与长方体的内壁形成连通上室和下室的流通通道，所述上室为蓄液池，下室内设有光电电极组，所述长方体一侧面对应下室处设置镂空结构，所述光电电极组包括相对设置的第一导电玻璃和第二导电玻璃，第一导电玻璃平行并紧挨下室的镂空结构处设置，所述第二导电玻璃平行并紧挨横板的一侧边设置，第一导电玻璃和第二导电玻璃的导电面向内相对放置，所述下室底部设有用于出液的出液通孔。使用时，首先将悬浮液加入到流通通道内部，使用光源在长方体镂空位置照射第一导电玻璃，这样能够在第一导电玻璃与第二导电玻璃之间产生电场，悬浮液向下流动的过程中，悬浮液中的粒子会在电场力的作用下定向移动。

上述中的现有技术方案存在以下缺陷：现有技术中的电泳槽在光照下只能够形成单一的沉积层，不能够根据人们的需要形成图案化的沉积层以及进行组分差异化沉积。

发明内容

本发明的目的是提供一种光定向沉积池及其使用方法，具有能够形成图案化的沉积层，并且可以进行组分差异化沉积的优点。

本发明的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种光定向沉积池，包括垫层，所述垫层上开设有贯穿自身的沉积槽，垫层的两侧面设置有对沉积槽进行密封的第一导电玻璃和第二导电玻璃，第一导电玻璃与垫层可拆卸连接，第一导电玻璃和第二导电玻璃分别与同一电源的负极、正极相连，第一导电玻璃靠近垫层的侧面上与沉积槽对应的位置上设置有光敏涂层，第一导电玻璃远离光敏涂层的侧面上放置有掩模。

通过采用上述技术方案，需要使用沉积池时，人们需要将悬浮液加入到沉积槽内部，将悬浮液加入到沉积槽内部直到加满，然后使用第一导电玻璃对沉积槽进行密封，此时需要保证第一导电玻璃上的光敏涂层位于第一导电玻璃靠近垫层的一侧；然后将第一导电玻璃与第二导电玻璃分别连接到同一个电源的负极和正极，在第一导电玻璃远离垫层的侧面上放置人们需要的形状的掩模；然后在第一导电玻璃远离垫层的一侧放置光源并开启，光源会照射在掩模上，这样在第一导电玻璃与第二导电玻璃之间就会产生一个非均匀电场，第一导电玻璃与第二导电玻璃之间的粒子在不同的电场区域会有不同的沉积效果，这样实现了组分差异化沉积的目的，而且能够在光敏涂层上形成图案化的沉积层；人们可以根据自己的需要，使用不同形状的掩模，进而得到自己需要的沉积图案；光定向沉积过程结束之后，人们使第一导电玻璃以及第二导电玻璃与垫层分离，即可将沉积层从光敏涂层上取下。

本发明在一较佳示例中可以进一步配置为，所述垫层相背离的两个侧面上分别开设有与沉积槽内部连通的进液口和出液口，沉积池的外侧设置有与沉积槽内部连通的供液装置。