[发明专利]一种光定向沉积池及其使用方法

权利要求书

1.一种光定向沉积池，其特征在于：包括垫层(2)，所述垫层(2)上开设有贯穿自身的沉积槽(21)，垫层(2)的两侧面设置有对沉积槽(21)进行密封的第一导电玻璃(3)和第二导电玻璃(4)，第一导电玻璃(3)与垫层(2)可拆卸连接，第一导电玻璃(3)和第二导电玻璃(4)分别与同一电源的负极、正极相连，第一导电玻璃(3)靠近垫层(2)的侧面上与沉积槽(21)对应的位置上设置有光敏涂层(5)，第一导电玻璃(3)远离光敏涂层(5)的侧面上放置有掩模(6)。

2.根据权利要求1所述的一种光定向沉积池，其特征在于：所述垫层(2)相背离的两个侧面上分别开设有与沉积槽(21)内部连通的进液口(22)和出液口(23)，沉积池(1)的外侧设置有与沉积槽(21)内部连通的供液装置(7)。

3.根据权利要求2所述的一种光定向沉积池，其特征在于：所述第一导电玻璃(3)以及第二导电玻璃(4)通过703硅橡胶粘结在垫层(2)上。

4.根据权利要求1所述的一种光定向沉积池，其特征在于：所述第一导电玻璃(3)与第二导电玻璃(4)相互靠近的侧面上设置有铜箔(31)，铜箔(31)与第二导电玻璃(4)或者第二导电玻璃(4)之间设置有导电胶。

5.根据权利要求1所述的一种光定向沉积池，其特征在于：所述垫层(2)的长度超出第一导电玻璃(3)和第二导电玻璃(4)。

6.一种光定向沉积池的使用方法，其特征在于：包括以下步骤：

S1、配制含有沉积粒子的悬浮液，对悬浮液进行搅拌以及超声处理；涂抹光敏涂层(5)，对沉积池(1)进行组装并且对沉积池(1)进行夹持固定；

S2、将悬浮液从进液口(22)输送至沉积槽(21)内部，直到悬浮液充满沉积槽(21)；

S3、放置掩模(6)，将第一导电玻璃(3)以及第二导电玻璃(4)与同一电源的负极、正极连通，在第一导电玻璃(3)远离垫层(2)的一侧提供光照；

S4、停止光照，断开第一导电玻璃(3)以及第二导电玻璃(4)与电源的连接关系，将沉积槽(21)内部的悬浮液排空；

S5、使第一导电玻璃(3)以及第二导电玻璃(4)与垫层(2)分离，将沉积芯片从光敏涂层(5)上取下。

7.根据权利要求6所述的一种光定向沉积池的使用方法，其特征在于：所述悬浮液中固体颗粒的质量分数为5-15%，溶剂中去离子水：无水乙醇=3:2。

8.根据权利要求6所述的一种光定向沉积池的使用方法，其特征在于：对悬浮液进行搅拌以及超声处理之前，在悬浮液中加入表面活性剂。

9.根据权利要求6所述的一种光定向沉积池的使用方法，其特征在于：悬浮液被输送至沉积槽(21)内部的速度为2-3mL/min，将悬浮液从沉积槽(21)内部排出的速度为0.5-1mL/min。

10.根据权利要求6所述的一种光定向沉积池的使用方法，其特征在于：将悬浮液输送至沉积槽(21)内部的过程中，继续对悬浮液进行搅拌。