[发明专利]一种载具的循环回收设备

说明书

本发明提供了一种载具的循环回收设备，包括上料机构、下料机构与回流输送带，上料机构与下料机构的结构相同，均包括输送台、设于输送台正上方的辊带、设于输送台与辊带旁的升降导轨、设于升降导轨上的升降平台以及设于升降平台上的取放机构，下料机构中的辊带与回流输送带的进口相衔接，上料机构中的辊带与回流输送带的出口相衔接，取放机构包括至少两根能够朝辊带和输送台方向伸出的取放条，输送台中具有能够将置于输送台上的载具顶起至高于输送台的顶升机构，辊带用于支承辊子的侧支撑板在对应辊子间的间隙处具有从侧支撑板上表面向下延伸的缺口，取放条能够伸入缺口中。本发明能够自动将载具从下料机处返还至上料机，实现载具回收的自动化。

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种载具的循环回收设备。

背景技术

半导体的芯片后道制作过程中，随着自动化程度的不断提升，减少人为操作的干扰确保操作员工的安全一直以来都是自动化产业永恒不变的主题。在芯片制造过程中，往往有一些特定的工艺，需要特殊的夹装载具进行对产品的固定，例如回流，或者清洗等，需要对产品进行固定才能保证在进入回流工艺的时候不会被冲散，保证产品安全。

该过程中，我们从上流接收产品，在载具上料机中，将产品固定在我们提供的载具上，随后将被载具夹装好的产品送入回流工艺，经过一段时间的回流，产品会从出口流出，载具下料机则接收产品，并将产品从载具中分离，将完成回流工艺的产品从载具下料机出口流出，传送至下一个工艺，或者被最终的收板机接收。

对于载具的回收，目前的方式是通过人工，将载具收到进一个个料盒，并将料盒去除，通过小推车的形式，转移到上板机中，并将其一个个放置完成；但是不难发现，在这条流水线中，载具的上料机以及下料机基本是处于流水线最中部的部分，而且两者之间被回流炉所间隔，回流炉的长短一般有5m以上，我们需要载具上料机提供载具，并在下料机将拆卸下来的载具搬走，根据目前10个载具一个料盒，存料为4个料盒的普遍数量来说，若以20s/pcs的数量在定，则约15分钟就需要完全更换一次载具，若需要保证产品运作的流畅性，则至少需要10分钟就进行一次载具更替，即将下料机的载具完全清除，并将清除下来的载具送往上料机中并安置完成。这对这操作员有着不小的压力。

由此可见，载具的回收不仅步骤频繁，且附加了一个料盒的载体，提高了成本。且为了保证流水线运作的流畅性，我们一般性会准备1.5倍的所需载具用量，即一条流水线若本身只需40个夹装载具，但是为了设备的流畅性，防止断料情况发生我们一般会配备60个夹装载具，这会进一步提高使用成本。

发明内容

基于此，本发明提供了一种新型的载具的循环回收设备，能够自动将载具从下料机构处返还至上料机构，实现载具回收的自动化。

本发明通过如下方式解决该技术问题:一种载具的循环回收设备，包括上料机构、下料机构与回流输送带，所述上料机构与下料机构的结构相同，均包括输送台、设于所述输送台正上方的辊带、设于所述输送台与辊带旁的升降导轨、设于所述升降导轨上的升降平台以及设于所述升降平台上的取放机构，所述下料机构中的辊带与所述回流输送带的进口相衔接，所述上料机构中的辊带与所述回流输送带的出口相衔接，所述取放机构包括至少两根能够朝所述辊带和输送台方向伸出的取放条，所述输送台中具有能够将置于所述输送台上的载具顶起至高于所述输送台的顶升机构，当所述顶升机构将所述载具顶起时，所述取放条能够伸入所述输送台和载具间的间隙中，所述辊带用于支承辊子的侧支撑板在对应辊子间的间隙处具有从侧支撑板上表面向下延伸的缺口，所述取放条能够伸入所述缺口中。

运行时，将载具置于上料机构的输送台上，一旁的机械手往载具中装入电路板，随后载具进入回流炉中进行回流；

回流完毕后，载具被送入下料机构的输送台上，一旁的机械手将电路板从载具中拆出，拆除电路板的空载具依旧放在输送台上；