[发明专利]一种太阳能电池正面电极对位印刷方法及制备方法

权利要求书

1.一种太阳能电池正面电极对位印刷方法，其特征在于：在电池正面激光开槽工艺中，将电池正面激光开槽图案的栅线外框以及两侧自外向内排列的2～10根栅线雕刻成双线开槽，所述双线开槽由平行的两道开槽组成。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池正面电极对位印刷方法，其特征在于：正面激光开槽图案上的Mark点位于网版浆料设置点的外侧而不与之重合。

3.根据权利要求1所述的太阳能电池正面电极对位印刷方法，其特征在于：所述双线开槽的两道开槽在二者长度上最多重合一半。

4.根据权利要求2所述的太阳能电池正面电极对位印刷方法，其特征在于：激光光斑直径为20～225微米。

5.一种太阳能电池制备方法，使用权利要求1所述的太阳能电池正面电极对位印刷方法。

6.一种使用权利要求1所述的太阳能电池正面电极对位印刷方法的太阳能电池制备方法，其特征在于包括以下步骤：

⑴在硅片正面形成绒面；

⑵在由步骤⑴所得产品的正面进行扩散，在硅片表面形成n型层，形成轻掺杂区；

⑶在由步骤⑵所得产品的正面进行激光开槽，正面激光开槽图案的栅线外框和两侧自外向内排列的2～10根栅线设置成双线开槽，该双线开槽由平行的两道开槽组成，形成正面激光开槽区；

⑷去除由步骤⑶所得产品在扩散过程形成的磷硅玻璃和周边PN结；

⑸在由步骤⑷所得产品的背面镀氧化铝膜，再在正、背面镀氮化硅减反射膜；

⑹在由步骤⑸所得产品的背面激光开槽；

⑺在由步骤⑹所得产品的背面印刷背电极；

⑻在由步骤⑺所得产品的背面印刷Al背场；

⑼在由步骤⑻所得产品的正面先印刷正面电极主栅，再印刷正面电极副栅；

⑽将由步骤⑼所得产品进行高温烧结；

⑾对由步骤⑽所得产品抗LID退火即得。

7.根据权利要求6所述的太阳能电池制备方法，其特征在于：在所述步骤⑶中，在正面激光开槽图案上设置Mark点，Mark点位于网版浆料设置点的外侧而不与其重合，在步骤⑼中，通过抓取正面激光开槽图案上的Mark点印刷正面电极。

8.根据权利要求7所述的太阳能电池制备方法，其特征在于：在所述步骤⑶中，激光光斑直径为20～225微米。

9.根据权利要求8所述的太阳能电池制备方法，其特征在于：所述硅片是电阻率为0.1～6Ω·cm的轻掺杂的P型单晶硅片。