[发明专利]一种纳米晶MoS2

权利要求书

1.一种纳米晶MoS₂固体润滑薄膜的制备方法，包括以下步骤：

利用溅射方法在钢材表面沉积MoS₂薄膜，得到沉积后钢材；所述溅射用靶为MoS₂靶溅射，所述MoS₂靶溅射的电源功率为4~8kW；工件架转速为1~3r/min，负偏压值为-0~-200V；

将所述沉积后钢材进行真空热处理，在所述沉积后钢材表面得到纳米晶MoS₂固体润滑薄膜；所述纳米晶MoS₂的晶型为无孔的柱状结构；所述真空热处理的温度为100~300℃，时间为60~240min；升温至所述真空热处理的温度的升温速率为5~20℃/min；

所述溅射前，还包括对所述钢材的表面进行离子轰击，所述离子轰击的偏压电源负偏压为-100~-200V，时间为10~30min；所述离子轰击在氩气气氛中进行，所述氩气的分压为0.1~2.0Pa。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述溅射的沉积时间为80~200min。

3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，所述溅射在氩气气氛中进行，所述氩气的分压为0.1~3.0Pa。

4.权利要求1~3任一项所述制备方法制得的纳米晶MoS₂固体润滑薄膜，所述纳米晶MoS₂固体润滑薄膜的厚度为1~3µm；所述纳米晶MoS₂的晶型为无孔的柱状结构。

5.权利要求4所述的纳米晶MoS₂固体润滑薄膜在机械运动部件的固体润滑中的应用。