[发明专利]一种背钝化太阳能电池及其制备方法

说明书

本申请公开了背钝化太阳能电池制备方法，包括获得太阳能电池的前驱体，前驱体包括由上至下依次层叠的隧穿层、发射极层、P型硅片；将前驱体置于链式或板式机台的炉腔，控制炉腔温度在170℃至190℃之间，并向炉腔内通入臭氧，在前驱体的下表面形成氧化硅层；在氧化硅层的下表面形成钝化层；在隧穿层的上表面形成第一减反层；在钝化层的下表面形成第二减反层，并对第二减反层进行开孔处理，得到处理后减反层；在第一减反层的上表面形成正面电极，并在处理后减反层的下表面形成背面电极。在制备氧化硅层时是用链式或板式热臭氧氧化法形成，有利于P型硅片的运输，且温度在170‑190℃之间，致密度提升，能耗降低。本申请还提供一种电池。

技术领域

本申请涉及太阳能电池制备技术领域，特别是涉及一种背钝化太阳能电池及其制备方法。

背景技术

钝化发射极和背面电池(passivated emitter and rear contact，PERC)是光伏行业目前的主流产品，其在背面具有氧化铝和氮化硅叠层钝化结构，通过激光开孔形成金属局部接触，显著降低背表面电流复合密度，提升开路电压，另外，良好的背表面内反射机制增加了对光的吸收，有效提升短路电流。

目前，PERC电池在制备背面的氧化硅膜层时一般采用常温臭氧氧化法或者高温(温度在650℃-750℃之间)热氧氧化法，常温臭氧氧化形成的氧化硅层质量一般、不够致密，对于电池PID(potential induced degradation，电势诱导衰减)的改善和钝化效果提升有限，进而导致PERC电池的效率无法进一步提升，高温热氧氧化法能耗高、操作复杂、成本高。并且，现有技术均是采用管式炉作为氧化设备，与生产产线契合度较低，不利于连续生产及产品品质控制。

因此，如何解决上述技术问题应是本领域技术人员重点关注的。

发明内容

本申请的目的是提供一种背钝化太阳能电池及其制备方法，以提升电池的效率，降低成本，同时提升生产效率。

为解决上述技术问题，本申请提供一种背钝化太阳能电池制备方法，包括：

获得太阳能电池的前驱体，所述前驱体包括由上至下依次层叠的隧穿层、发射极层、P型硅片；

将所述前驱体置于链式机台或板式机台的炉腔，控制所述炉腔温度在170℃至190℃之间，并向所述炉腔内通入臭氧，在所述前驱体的下表面形成氧化硅层；

在所述氧化硅层的下表面形成钝化层；

在所述隧穿层的上表面形成第一减反层；

在所述钝化层的下表面形成第二减反层，并对所述第二减反层进行开孔处理，得到处理后减反层；

在所述第一减反层的上表面形成正面电极，并在所述处理后减反层的下表面形成背面电极。

可选的，所述获得太阳能电池的前驱体包括：

对所述P型硅片的上表面进行磷掺杂形成发射极层；

去除磷扩散形成的磷硅玻璃，并对所述P型硅片的下表面进行抛光处理；

在所述发射极层的上表面形成所述隧穿层。

可选的，所述在所述发射极层的上表面形成所述隧穿层包括：

利用高温热氧化法、硝酸氧化法、链式热臭氧氧化法、板式热臭氧氧化法、化学气相沉积法中的任一种方法，在所述发射极层的上表面形成所述隧穿层。

可选的，在所述对所述P型硅片的上表面进行磷扩散形成发射极层之前，还包括：

对所述P型硅片的所述上表面进行制绒。

可选的，对所述P型硅片进行制绒的方法为湿法碱制绒或者反应离子刻蚀法。