[发明专利]一种背钝化太阳能电池及其制备方法

权利要求书

1.一种背钝化太阳能电池制备方法，其特征在于，包括：

获得太阳能电池的前驱体，所述前驱体包括由上至下依次层叠的隧穿层、发射极层、P型硅片；

将所述前驱体置于链式机台或板式机台的炉腔，控制所述炉腔温度在170℃至190℃之间，并向所述炉腔内通入臭氧，在所述前驱体的下表面形成氧化硅层；

在所述氧化硅层的下表面形成钝化层；

在所述隧穿层的上表面形成第一减反层；

在所述钝化层的下表面形成第二减反层，并对所述第二减反层进行开孔处理，得到处理后减反层；

在所述第一减反层的上表面形成正面电极，并在所述处理后减反层的下表面形成背面电极。

2.如权利要求1所述的背钝化太阳能电池制备方法，其特征在于，所述获得太阳能电池的前驱体包括：

对所述P型硅片的上表面进行磷掺杂形成发射极层；

去除磷扩散形成的磷硅玻璃，并对所述P型硅片的下表面进行抛光处理；

在所述发射极层的上表面形成所述隧穿层。

3.如权利要求2所述的背钝化太阳能电池制备方法，其特征在于，所述在所述发射极层的上表面形成所述隧穿层包括：

利用高温热氧化法、硝酸氧化法、链式热臭氧氧化法、板式热臭氧氧化法、化学气相沉积法中的任一种方法，在所述发射极层的上表面形成所述隧穿层。

4.如权利要求3所述的背钝化太阳能电池制备方法，其特征在于，在所述对所述P型硅片的上表面进行磷扩散形成发射极层之前，还包括：

对所述P型硅片的所述上表面进行制绒。

5.如权利要求4所述的背钝化太阳能电池制备方法，其特征在于，对所述P型硅片进行制绒的方法为湿法碱制绒或者反应离子刻蚀法。

6.如权利要求5所述的背钝化太阳能电池制备方法，其特征在于，在所述去除磷扩散形成的磷硅玻璃之前，还包括：

对所述发射极层进行选择性发射电极掺杂。

7.如权利要求1所述的背钝化太阳能电池制备方法，其特征在于，所述在所述隧穿层的上表面形成第一减反层包括：

利用等离子体增强化学气相沉积法，在所述隧穿层的上表面形成所述第一减反层。

8.如权利要求1所述的背钝化太阳能电池制备方法，其特征在于，所述在所述氧化硅层的下表面形成钝化层包括：

利用原子层沉积方法，在所述氧化硅层的下表面形成所述钝化层。

9.一种背钝化太阳能电池，其特征在于，所述背钝化太阳能电池由如权利要求1至8任一项所述的背钝化太阳能电池制备方法制得，其中，所述背钝化太阳能电池包括由上至下依次层叠的正面电极、第一减反层、隧穿层、发射极层、P型硅片、氧化硅层、钝化层、处理后减反层、背面电极。

10.如权利要求9所述的背钝化太阳能电池，其特征在于，所述氧化硅层的厚度取值范围为1纳米至30纳米，包括端点值。