[发明专利]一种芯片压盖治具及其工艺方法在审

专利信息
申请号: 202010311691.2 申请日: 2020-04-20
公开(公告)号: CN111415891A 公开(公告)日: 2020-07-14
发明(设计)人: 徐堃;丹尼罗;沈国强;薛文华 申请(专利权)人: 星科金朋半导体(江阴)有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/50;H01L21/56
代理公司: 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 代理人: 赵华
地址: 214434 江苏省无锡*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 芯片 压盖 及其 工艺 方法
【权利要求书】:

1.一种芯片压盖治具,其特征在于,其由下而上依次包括载具(10)、漏字板(20)和压字板(30),所述载具(10)和漏字板(20)之间设置基板(40),所述基板(40)的芯片贴片区域朝上,所述载具(10)、漏字板(20)和压字板(30)的形状与基板(40)的形状一致;

所述载具(10)上设有若干个载具固定件Ⅰ(11)、若干个载具固定件Ⅱ(12)、若干个导正销(13)、若干个定位长针(16)和若干个真空孔阵列(18),所述载具固定件Ⅰ(11)和载具固定件Ⅱ(12)分别均匀设置于载具(10)的上沿和下沿,固定其上方的漏字板(20),所述定位长针(16)分别设置于相邻载具固定件Ⅰ(11)之间、相邻载具固定件Ⅱ(12)之间,定位其上方的漏字板(20)和压字板(30),所述真空孔阵列(18)设置于载具(10)的内围,与基板(40)的阵列对应,所述导正销(13)设置于每一真空孔阵列(18)的对角线上,定位基板(40);

所述漏字板(20)上设有若干个漏字板固定件Ⅰ(21)、若干个漏字板固定件Ⅱ(22)、若干个定位孔26)、若干个盲孔(23)和漏字孔阵列,所述漏字板(20)的背面上下两侧各设有外台阶(24)和内台阶(25),并形成容纳基板(40)的容纳区间(29), 所述漏字板固定件Ⅰ(21)、漏字板固定件Ⅱ(22)分别均匀设置于漏字板(20)的外台阶(24),所述定位孔(26)设置于漏字板(20)的外台阶(24)上,与载具(10)上的定位长针(16)位置对应,所述盲孔(23)设置于漏字板(20)的内台阶(25)上,与载具(10)上的导正销(13)位置对应,并与导正销(13)配对使用;

所述漏字孔阵列设置于漏字板(20)的内围,每个漏字孔阵列内的漏字孔(27)也按阵列排布,与基板(40)的芯片贴片区域对应,所述漏字孔(27)的尺寸大于芯片(41)的尺寸且小于基板(40)上的芯片贴片区域;

所述压字板(30)上设有若干个压字板固定件Ⅰ(31)、若干个压字板固定件Ⅱ(32)、若干个定位孔(36)和凸块阵列,所述压字板固定件Ⅰ(31)、压字板固定件Ⅱ(32)分别均匀设置于压字板(30)的上沿和下沿,所述定位孔(36)分布于压字板(30)的对角线上,与载具(10)上的定位长针(16)位置对应,所述凸块阵列设置于压字板(30)的背面,每个凸块阵列内的凸块(37)也按阵列排布,所有凸块(37)的厚度一致,且与漏字板(20)的漏字孔(27)的分布对应,其尺寸小于漏字孔(27)的口径大小。

2.根据权利要求1所述的芯片压盖治具,其特征在于,所述载具固定件Ⅰ(11)包括但不限于磁铁块、卡扣,载具固定件Ⅱ(12)包括但不限于磁铁块、卡扣,所述载具固定件Ⅰ(11)与载具固定件Ⅱ(12)对称设置。

3.根据权利要求1所述的芯片压盖治具,其特征在于,所述漏字板固定件Ⅰ(21)包括但不限于磁铁块,漏字板固定件Ⅱ(22)包括但不限于磁铁块,漏字板固定件Ⅰ(21)与漏字板固定件Ⅱ(22)对称设置。

4.根据权利要求1所述的芯片压盖治具,其特征在于,所述定位长针(16)设置于载具(10)对角线两端。

5.根据权利要求1所述的芯片压盖治具,其特征在于,所述漏字板(20)的漏字板固定件Ⅰ(21)和漏字板固定件Ⅱ(22)与载具(10)的载具固定件Ⅰ(11)和载具固定件Ⅱ(12)对应。

6.根据权利要求1所述的芯片压盖治具,其特征在于,所述凸块(37)的横截面呈圆形、矩形或多边形。

7.根据权利要求1所述的芯片压盖治具,其特征在于,所述压字板固定件Ⅰ(31)包括但不限于磁铁块,压字板固定件Ⅱ(32)包括但不限于磁铁块,所述压字板固定件Ⅰ(31)与压字板(30)的压字板固定件Ⅱ(32)对称设置。

8.根据权利要求1所述的芯片压盖治具,其特征在于,所述漏字孔(27)的横截面呈龟状、纵截面呈喇叭状。

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