[发明专利]一种拉晶方法在审
| 申请号: | 202010307430.3 | 申请日: | 2020-04-17 |
| 公开(公告)号: | CN113529163A | 公开(公告)日: | 2021-10-22 |
| 发明(设计)人: | 杜婷婷;张骏凯;付楠楠;邓浩;张伟建;董升 | 申请(专利权)人: | 隆基绿能科技股份有限公司 |
| 主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14;C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司: | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人: | 赵娟 |
| 地址: | 710100 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 方法 | ||
1.一种拉晶方法,其特征在于,应用于热场中,所述热场中设置有热屏和加热器,所述方法包括:
熔料结束后,调整所述热屏的底部与所述加热器的上表面的相对距离至第一预设距离;所述第一预设距离小于或等于所述热屏的底部与所述加热器的上表面的相对距离的最大距离;
拉晶至第一预设长度;
在所述第一预设长度的基础上继续拉晶至第二预设长度,在从所述第一预设长度拉晶至所述第二预设长度的过程中,调整所述热屏的底部与所述加热器的上表面的相对距离至第二预设距离;所述第一预设距离大于或等于所述第二预设距离;所述第二预设距离大于或等于所述热屏的底部与所述加热器的上表面的相对距离的最小距离;
在所述热屏的底部与所述加热器的上表面的相对距离小于或等于所述第一预设距离的情况下,在所述第二预设长度的基础上继续拉晶,得到单晶。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述在从所述第一预设长度拉晶至所述第二预设长度的过程中,调整所述热屏的底部与所述加热器的上表面的相对距离至第二预设距离,包括:
在从所述第一预设长度拉晶至所述第二预设长度的过程中,匀速调整所述热屏的底部与所述加热器的上表面的相对距离至第二预设距离。
3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,
在所述第一预设距离等于所述热屏的底部与所述加热器的上表面的相对距离的最大距离,且所述第二预设距离等于所述热屏的底部与所述加热器的上表面的相对距离的最小距离的情况下,第一差值除以第二差值的商为预设值;所述第一差值等于所述第一预设距离减去所述第二预设距离,所述第二差值等于所述第二预设长度减去所述第一预设长度。
4.根据权利要求1至3中任一所述的方法,其特征在于,所述最大距离为125mm,所述最小距离为65mm。
5.根据权利要求1至3中任一所述的方法,其特征在于,所述在所述热屏的底部与所述加热器的上表面的相对距离小于或等于所述第一预设距离的情况下,在所述第二预设长度的基础上继续拉晶,得到单晶,包括:
在所述热屏的底部与所述加热器的上表面的相对距离保持所述第二预设距离的情况下,在所述第二预设长度的基础上继续拉晶,得到单晶。
6.根据权利要求1至3中任一所述的方法,其特征在于,所述加热器在所述热场中的位置不变,通过调整所述热屏的位置,改变所述热屏的底部与所述加热器的上表面的相对距离。
7.根据权利要求1至3中任一所述的方法,其特征在于,所述熔料结束后,调整所述热屏的底部与所述加热器的上表面的相对距离至第一预设距离,包括:
熔料结束后,下降所述热屏,调整所述热屏的底部与所述加热器的上表面的相对距离至第一预设距离;
所述在从所述第一预设长度拉晶至所述第二预设长度的过程中,调整所述热屏的底部与所述加热器的上表面的相对距离至第二预设距离,包括:
在从所述第一预设长度拉晶至所述第二预设长度的过程中,升高所述热屏,调整所述热屏的底部与所述加热器的上表面的相对距离至第二预设距离。
8.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述在从所述第一预设长度拉晶至所述第二预设长度的过程中,调整所述热屏的底部与所述加热器的上表面的相对距离至第二预设距离,包括:
在从所述第一预设长度拉晶至所述第二预设长度的过程中,变速调整所述热屏的底部与所述加热器的上表面的相对距离至第二预设距离。
9.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第一预设长度为所述单晶总长度的25%;所述第二预设长度为所述单晶总长度的75%。
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