[发明专利]超高精度Micro LED屏幕芯片电子功能测试设备

说明书

本发明涉及Micro屏幕的高精度芯片测试技术领域，公开一种超高精度Micro LED屏幕芯片电子功能测试设备，包括芯片定位装置，其包括用于对芯片进行定位的定位治具，及连接于定位治具的XY驱动单元，XY驱动单元用于驱动定位治具沿X向和/或Y向水平移动；测试装置，其包括针模，与针模转动连接的旋转驱动单元及Z向驱动单元，旋转驱动单元用于驱动针模绕其Z向中心轴线旋转，Z向驱动单元用于驱动旋转驱动单元沿Z向升降，以使针模接触或脱离位于其正下方芯片上的测试触点。本发明通过XY驱动单元对芯片在X向、Y向的位置进行调整，通过旋转驱动单元驱动针模绕其Z向中心轴线旋转，使针模与芯片上的测试触点在水平面内的偏差更小，提高了芯片定位的准确度。

技术领域

本发明涉及Micro屏幕的高精度测试技术领域，尤其涉及一种超高精度Micro LED屏幕芯片电子功能测试设备。

背景技术

芯片属于新型Micro显示屏幕产品的精密组件，对电容电阻的精度要求极高，因此需要芯片的电容电阻进行测试。

在采用现有的芯片测试设备对芯片的电容电阻进行测试时，由于芯片与测试用的针模之间的位置不精准，导致芯片测试的准确度较低。同时原有模式一次只测试一个芯片，测试效率低。

因此，亟需一种超高精度Micro LED屏幕芯片电子功能测试设备，以解决上述技术问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种超高精度Micro LED屏幕芯片电子功能测试设备，可实现提升测试效率，能够提高芯片测试的准确度和测试的可靠性要求。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

超高精度Micro LED屏幕芯片电子功能测试设备，包括：

芯片定位装置，其包括用于对芯片进行定位的定位治具，及连接于所述定位治具的XY驱动单元，所述XY驱动单元用于驱动所述定位治具沿X向和/或Y向水平移动；

测试装置，其包括针模，与所述针模转动连接的旋转驱动单元，及Z向驱动单元，所述旋转驱动单元用于驱动所述针模绕其Z向中心轴线旋转，所述Z向驱动单元用于驱动所述旋转驱动单元沿Z向升降，以使所述针模接触或脱离位于其正下方的所述芯片上的测试触点。

作为上述超高精度Micro LED屏幕芯片电子功能测试设备的一种优选技术方案，所述浮动装置为气浮平台。

作为上述超高精度Micro LED屏幕芯片电子功能测试设备的一种优选技术方案，所述浮动装置设有多个，多个所述浮动装置沿所述测试平台的周向分布。

作为上述超高精度Micro LED屏幕芯片电子功能测试设备的一种优选技术方案，所述测试装置还包括：

高度位移传感器，用于测量所述针模和位于其正下方的所述芯片之间的距离。

作为上述超高精度Micro LED屏幕芯片电子功能测试设备的一种优选技术方案，所述测试装置还包括Z向光栅尺，用于测量所述针模相对于所述芯片沿Z向的移动距离。

作为上述超高精度Micro LED屏幕芯片电子功能测试设备的一种优选技术方案，所述针模包括：

基座，所述基座连接于所述Z向驱动单元；

探针，所述探针的一端连接于所述基座且位于所述基座的下方；

浮板，所述浮板上设有与所述探针一一对应的穿设孔，所述浮板弹性浮动安装于所述基座上，使所述探针的另一端插入对应的所述穿设孔内或贯穿对应的所述穿设孔。

作为上述超高精度Micro LED屏幕芯片电子功能测试设备的一种优选技术方案，还包括CCD相机引导装置，所述相机引导装置包括：