[发明专利]超高精度Micro LED屏幕芯片电子功能测试设备

权利要求书

1.超高精度Micro LED屏幕芯片电子功能测试设备，其特征在于，包括：

芯片定位装置(4)，其包括用于对芯片进行定位的定位治具(41)，及连接于所述定位治具(41)的XY驱动单元(42)，所述XY驱动单元(42)用于驱动所述定位治具(41)沿X向和/或Y向水平移动；

测试装置(5)，其包括针模(51)，与所述针模(51)转动连接的旋转驱动单元(52)，及Z向驱动单元(53)，所述旋转驱动单元(52)用于驱动所述针模(51)绕其Z向中心轴线旋转，所述Z向驱动单元(53)用于驱动所述旋转驱动单元(52)沿Z向升降，以使所述针模(51)接触或脱离位于其正下方的所述芯片上的测试触点。

2.根据权利要求1所述的超高精度Micro LED屏幕芯片电子功能测试设备，其特征在于，还包括机架主体(1)和位于所述机架主体(1)上方的测试平台(2)，所述芯片定位装置(4)和所述测试装置(5)均设于所述测试平台(2)上；

所述测试平台(2)和所述机架主体(1)之间夹设有浮动装置(3)，用于对Z向的振动进行缓冲。

3.根据权利要求2所述的超高精度Micro LED屏幕芯片电子功能测试设备，其特征在于，所述浮动装置(3)为气浮平台。

4.根据权利要求2所述的超高精度Micro LED屏幕芯片电子功能测试设备，其特征在于，所述浮动装置(3)设有多个，多个所述浮动装置(3)沿所述测试平台(2)的周向分布。

5.根据权利要求1所述的超高精度Micro LED屏幕芯片电子功能测试设备，其特征在于，所述测试装置(5)还包括：

高度位移传感器(55)，用于测量所述针模(51)和位于其正下方的所述芯片之间的距离。

6.根据权利要求5所述的超高精度Micro LED屏幕芯片电子功能测试设备，其特征在于，所述测试装置(5)还包括Z向光栅尺(56)，用于测量所述针模(51)相对于所述芯片沿Z向的移动距离。

7.根据权利要求1所述的超高精度Micro LED屏幕芯片电子功能测试设备，其特征在于，所述针模(51)包括：

基座(511)，所述基座(511)连接于所述Z向驱动单元(53)；

探针(512)，所述探针(512)的一端连接于所述基座(511)且位于所述基座(511)的下方；

浮板(513)，所述浮板(513)上设有与所述探针(512)一一对应的穿设孔，所述浮板(513)弹性浮动安装于所述基座(511)上，使所述探针(512)的另一端插入对应的所述穿设孔内或贯穿对应的所述穿设孔。

8.根据权利要求1至7任一项所述的超高精度Micro LED屏幕芯片电子功能测试设备，其特征在于，还包括CCD相机引导装置，所述相机引导装置包括：

第一CCD相机(61)，连接于所述XY驱动单元(42)上且能够跟随所述芯片同步动作，用于对所述芯片进行拍照，以确定所述芯片上的校准标记点的位置信息；

第二CCD相机(62)，用于对所述针模(51)进行拍照，以确定所述针模(51)上的基准标记点的位置信息。

9.根据权利要求8所述的超高精度Micro LED屏幕芯片电子功能测试设备，其特征在于，所述相机引导装置还包括用于对所述第一CCD相机(61)进行照明的第一光源，及用于对所述第二CCD相机(62)进行照明的第二光源。

10.根据权利要求2所述的超高精度Micro LED屏幕芯片电子功能测试设备，其特征在于，还包括连接于所述机架主体(1)且位于所述机架主体(1)上方的防护罩(7)，所述测试平台(2)、所述芯片定位装置(4)和所述测试装置(5)均位于所述防护罩(7)内。