[发明专利]一种靶材缺陷的检测方法

说明书

本发明提供了一种靶材缺陷的检测方法，所述方法包括以下步骤：将靶材组件组装完成后，采用超声波探伤仪对所述靶材组件进行检测；其中，所用检测条件为所述靶材组件相应的标准件检测时的检测条件。本发明所述方法通过超声波探伤仪对靶材组件内的缺陷进行检测，针对不同类型的靶材可快速调节检测参数，提高了靶材检测的速率和精确性，检测时间可减少50％左右；所述方法操作简单，方便快捷，设备及操作成本低。

技术领域

本发明属于靶材制备技术领域，涉及一种靶材缺陷的检测方法。

背景技术

近年来，随着市场对平面显示器需求的不断扩大，其生产所需靶材的需求也相应扩大，靶材的生产工艺主要包括冶金烧结、热轧处理、退火处理、后续加工等工序，而由于靶材组件的组装过程中需要焊接等步骤，为了保证靶材溅射过程中的稳定使用，需要提前进行检测，对可能存在的内部异物或存在的缺陷进行检测，以保证靶材的成品率。

现有靶材的检测技术所需时间较长，造成产品生产效率低，周转速度慢，难以满足当前生产总量的需求，因此如何提高靶材的检测速率是目前需要解决的问题。通常靶材的缺陷或损伤检测通常采用超声波探伤仪，以实现靶材的无损检测，超声波探伤是利用超声波在进入不同声速的介质层时会出现不同高度的回波来判断检测工件表面及内部是否存在缺陷，具有探伤灵敏度高、周期短、成本低与效率高等优点。然而由于靶材种类的多样性，对于特定种类靶材的检测参数往往难以确定，既影响检测准确性，又影响检测速率。

CN 103792285A公开了一种靶材组件的焊接缺陷率和结合率的检测方法，包括提供标准试样，用超声波探伤仪对标准试样进行检测，确定检测条件；提供靶材组件，采用上述检测条件同样检测靶材组件，获得靶材组件的缺陷面积，进而计算得到焊接缺陷率；其中，靶材组件的标准试样包括靶材、背板，将靶材和背板进行焊接，对焊接后的背板进行打孔处理；该方法对靶材组件缺陷的检测受靶材的影响较大，所需标准试样的准备工作较为复杂，检测所需时间较长，检测效率较低。

CN 107941920A公开了一种水浸式屏蔽电磁的超声波探伤仪，包括超声波探头、电磁屏蔽设备、超声波探伤仪、信号电缆，所述超声波探伤仪设有声波接口，所述信号线缆前端与所述超声波探头连接，后端与所处超声波接口连接，所述电磁屏蔽设备覆盖信号线缆表面；该装置主要是通过电磁屏蔽设备的设置来减少杂波干扰，有助于检测准确性的提高，但对于超声波探伤仪检测参数的调节以及探头的选择并未涉及。

综上所述，对于靶材缺陷的检测，还需能够针对不同材质、类型的靶材，快速得到合适的检测参数，提高检测效率和检测的精确性，从而提高产品的生产效率和良品率。

发明内容

针对现有技术存在的问题，本发明的目的在于提供一种靶材缺陷的检测方法，所述方法通过超声波探伤仪对靶材组件内的缺陷进行检测，针对不同类型的靶材相应调节检测参数，检测速率快，精确性高，提高了产品检测的周转率。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

本发明提供了一种靶材缺陷的检测方法，所述方法包括以下步骤：

将靶材组件组装完成后，采用超声波探伤仪对所述靶材组件进行检测；

其中，所用检测条件为所述靶材组件相应的标准件检测时的检测条件。

本发明中，靶材组件的检测是以相应的标准件为基础的，通过与标准件的比较，采用相同的检测条件，更有助于得出准确的检测结果，避免其他因素的影响；而超声波探伤仪是靶材的缺陷或损伤检测时常用的仪器，主要利用超声波在不同介质中的传播差异特性，检测其内部的缺陷，并得出缺陷的形状及大小，检测过程方便快捷，检测结果准确、高效。

以下作为本发明优选的技术方案，但不作为本发明提供的技术方案的限制，通过以下技术方案，可以更好地达到和实现本发明的技术目的和有益效果。