[发明专利]一种靶材缺陷的检测方法

权利要求书

1.一种靶材缺陷的检测方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

将靶材组件组装完成后，采用超声波探伤仪对所述靶材组件进行检测；

其中，所用检测条件为所述靶材组件相应的标准件检测时的检测条件。

2.根据权利要求1所述的靶材缺陷的检测方法，其特征在于，所述靶材组件包括靶材和背板，两者通过焊接进行组装；

优选地，所述靶材包括Al靶材、Cu靶材、Mo靶材、Ti靶材或MoNb合金靶材中的任意一种或至少两种的组合。

3.根据权利要求1或2所述的靶材缺陷的检测方法，其特征在于，所述靶材组件进行检测前，先进行标准件的检测；

优选地，所述标准件的材质、制备工艺与靶材组件相同。

4.根据权利要求3所述的靶材缺陷的检测方法，其特征在于，所述标准件的缺陷面积已知，得出理论缺陷值；

优选地，采用超声波探伤仪对标准件进行多次检测，得出多个测试缺陷值，选择与理论缺陷值偏差在±0.5％范围内的测试缺陷值时的检测条件为靶材组件的检测条件。

5.根据权利要求1-4任一项所述的靶材缺陷的检测方法，其特征在于，所述靶材组件进行检测时，以水为介质；

优选地，所述靶材组件浸入水中的距离为75～105mm。

6.根据权利要求1-5任一项所述的靶材缺陷的检测方法，其特征在于，所述超声波探伤仪包括超声波探头，所述超声波探头位于靶材组件的上方；

优选地，所述超声波探头浸入水中的距离为35～55mm；

优选地，所述超声波探头的移动速率为300～500mm/s。

7.根据权利要求6所述的靶材缺陷的检测方法，其特征在于，所述超声波探伤仪还包括超声波探头支架，所述超声波探头支架位于水面上方，带动超声波探头横向移动。

8.根据权利要求1-7任一项所述的靶材缺陷的检测方法，其特征在于，所述超声波探伤仪进行检测时，所用超声波探头的频率为5～10MHz。

9.根据权利要求1-8任一项所述的靶材缺陷的检测方法，其特征在于，所述超声波探伤仪进行检测时，超声波探伤仪的感度为35～45dB。

10.根据权利要求1-9任一项所述的靶材缺陷的检测方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

(1)选择与待测靶材组件材质、制备工艺相同的标准件，采用超声波探伤仪进行检测；所述标准件的缺陷面积已知，得出理论缺陷值；采用超声波探伤仪对标准件进行多次检测，得出多个测试缺陷值，选择与理论缺陷值偏差在±5％范围内的测试缺陷值时的检测条件为靶材组件的检测条件；

(2)采用步骤(1)中的检测条件对待测靶材组件进行检测；检测时以水为介质，靶材组件浸入水中的距离为75～105mm；所述超声波探伤仪包括超声波探头和超声波探头支架，所述超声波探头浸入水中的距离为35～55mm，移动速率为300～500mm/s，所用超声波探头的频率为5～10MHz，超声波探伤仪的感度为35～45dB。