[发明专利]一种可推拉功率半导体器件测试工装

权利要求书

1.一种可推拉功率半导体器件测试工装，其特征在于，包括工装外壳(1)、气动伸缩机构(4)、定位锁紧机构(12)、适配器(5)、测试板(11)、第一载物板(14)、第二载物板(102)以及侧板(101)；

所述侧板(101)固定在所述工装外壳(1)内壁两侧中段位置，所述第一载物板(14)设置在所述侧板(101)内侧并与所述侧板(101)滑动连接，所述第二载物板(102)固定在所述工装外壳(1)内壁两侧上端位置；

所述适配器(5)包括适配板(505)、固定装配在所述适配板(505)后端的香蕉插头(502)、固定装配在所述适配板(505)上的探针(503)；所述适配板(505)滑动连接在所述第二载物板(102)上，所述探针(503)与所述香蕉插头(502)电连接；

所述测试板(11)放置在所述第一载物板(14)上，所述气动伸缩机构(4)设置在所述工装外壳(1)底部，所述气动伸缩机构(4)用于推动所述测试板(11)上升靠近所述适配器(5)或下降；

所述定位锁紧机构(12)用于将所述第一载物板(14)位置锁定，定位锁紧机构(12)包括固定在所述工装外壳(1)底部的锁紧气缸(121)、固定在所述锁紧气缸(121)输出轴上的锁止轴(123)以及固定连接在所述第一载物板(14)之间的锁定板(13)，所述锁定板(13)上开设锁定插口(132)，所述锁定插口(132)侧壁固定锁止块(133)；当所述锁紧气缸(121)上的锁止轴(123)向上伸入所述锁定插口(132)后，所述锁止轴(123)抵靠在所述锁止块(133)侧端，锁止轴(123)两端均转动连接有滚轮(122)，所述锁止块(133)两端设置圆倒角(135)。

2.根据权利要求1所述的可推拉功率半导体器件测试工装，其特征在于，所述锁定板(13)上开设多个腰型孔(134)，所述锁止块(133)通过螺栓紧固件与腰型孔(134)之间实现可调式固接。

3.根据权利要求1所述的可推拉功率半导体器件测试工装，其特征在于，所述测试板(11)上面四角固定有导向轴套(111)，所述第一载物板(14)上固定有导向轴(901)，所述导向轴(901)上端部设置限位片(902)，所述导向轴套(111)装配在所述导向轴(901)外侧，并能沿所述导向轴(901)上下滑动。

4.根据权利要求3所述的可推拉功率半导体器件测试工装，其特征在于，所述导向轴套(111)为直线轴承。

5.根据权利要求1所述的可推拉功率半导体器件测试工装，其特征在于，所述适配器(5)外周设置有前端敞口的第一防护板(7)，所述第一防护板(7)固定在所述工装外壳(1)上部。