[发明专利]工作台装置、光刻装置以及物品制造方法

权利要求书

1.一种工作台装置，其特征在于，该工作台装置包括：

工作台，该工作台能够移动；

测量部，该测量部对上述工作台照射光来测量上述工作台的位置；

供给部，该供给部向上述光的光路供给气体，以便在上述光路形成朝向沿着上述光路的方向的气体的气流；以及

控制部，该控制部控制上述供给部，以便根据上述方向上的上述工作台的位置来变更从上述供给部向上述光路供给的气体的流量。

2.如权利要求1所述的工作台装置，其特征在于，

上述供给部具有吹出气体的吹出部，

上述控制部控制上述供给部，以便根据上述方向上的上述工作台的位置来变更从上述吹出部吹出的气体的流量。

3.如权利要求1所述的工作台装置，其特征在于，

上述控制部控制上述供给部，以便上述方向上的上述工作台与上述供给部的距离越短则从上述供给部向上述光路供给的气体的流量就越少。

4.如权利要求1所述的工作台装置，其特征在于，

上述控制部控制上述供给部，以便基于由上述测量部获得的上述工作台的位置的测量结果来变更从上述供给部向上述光路供给的气体的流量。

5.如权利要求1所述的工作台装置，其特征在于，

上述控制部控制上述供给部，以便根据上述方向上的上述工作台的位置而使从上述供给部向上述光路的气体的供给停止。

6.如权利要求1所述的工作台装置，其特征在于，

上述供给部包括对向上述光路供给的气体的温度进行调整的温度调整部，

上述控制部控制上述温度调整部，以便对因从上述供给部向上述光路供给的气体的流量的变更导致的该气体的温度变化进行补偿。

7.如权利要求1所述的工作台装置，其特征在于，

上述工作台装置包括多个上述供给部，该多个上述供给部在上述方向上相互不同的上述光路中的位置供给气体。

8.如权利要求1所述的工作台装置，其特征在于，

上述工作台装置还包括第2供给部，该第2供给部向上述光路供给气体，以便在上述光路形成朝向横过上述光路的方向的气体的气流。

9.如权利要求8所述的工作台装置，其特征在于，

上述第2供给部向上述光路之中的比由上述供给部供给气体的部分靠上述测量部侧的部分供给气体。

10.一种光刻装置，该光刻装置在基板上形成图形，其特征在于，

上述光刻装置包括具有能够保持上述基板并移动的工作台的工作台装置，

上述工作台装置包括：

工作台，该工作台能够移动；

测量部，该测量部对上述工作台照射光来测量上述工作台的位置；

供给部，该供给部向上述光的光路供给气体，以便在上述光路形成朝向沿着上述光路的方向的气体的气流；以及

控制部，该控制部控制上述供给部，以便根据上述方向上的上述工作台的位置来变更从上述供给部向上述光路供给的气体的流量。

11.一种物品制造方法，其特征在于，

由经过形成工序和加工工序的基板制造物品，

该形成工序使用光刻装置在基板上形成图形，

该加工工序对在上述形成工序中形成有图形的上述基板进行加工，

上述光刻装置包括具有能够保持上述基板并移动的工作台的工作台装置，

上述工作台装置包括：

工作台，该工作台能够移动；

测量部，该测量部对上述工作台照射光来测量上述工作台的位置；

供给部，该供给部向上述光的光路供给气体，以便在上述光路形成朝向沿着上述光路的方向的气体的气流；以及

控制部，该控制部控制上述供给部，以便根据上述方向上的上述工作台的位置来变更从上述供给部向上述光路供给的气体的流量。