[发明专利]一种测量液晶器件实际反射率的方法与装置

权利要求书

1.一种基于相干原理的液晶器件反射率测量方法，其特征是，

基于如下测量装置进行，测量装置包括光源、分束器、光强度探测器、装置反射镜与待测液晶器件；光源、分束器、光强度探测器、装置反射镜与待测液晶器件组成如下光路，光源经过分束器入射至待测液晶器件，分束器的另一束光经装置反射镜与经待测液晶器件的反射光再次经过分束器后被光强度探测器测量，所述光源为宽频光源，其中心波长为待测液晶器件设计的工作波长；宽频光源频谱带宽200 nm；入射光偏振方向与待测液晶器件工作偏振方向一致；

测量步骤如下：首先，在待测液晶器件位置放置反射率R_r已知的标准反射镜，对系统进行校验；宽频光源入射光进入测量装置后，由装置反射镜和标准反射镜两反射镜反射的光会在光谱分析仪处形成干涉，干涉的相增或相消由两反射镜之间的相对位置以及波长决定；其次，对光谱分析仪的测量频谱进行傅里叶变化，得到傅里叶变换量；傅里叶变换量包括DC分量和存在一个次大幅度的I_r分量，该I_r分量与DC分量的间距为所述两反射镜之间的光程差两倍，即2d，且I_r分量的强度与标准反射镜反射率成正比；再次，将校验的标准反射镜置换为待测液晶器件；进而对光谱分析仪测量信号进行傅里叶变化；傅里叶变化量结果中除DC分量外，会呈现次大幅度的I_g、I_i、I_b三个分量，分别对应R_g、 R_i、 R_b这个三个反射光；调制待测液晶器件的位置，使I_b分量与DC分量与上述校验过程中所得2d相等；此时，推导出待测液晶器件背板反射率 R_b = I_b/I_r*R_r。