[发明专利]掩膜板及其制造方法

说明书

本发明公开了一种掩膜板及其制造方法，包括：框架，所述框架设有一镂空形成的蒸镀区域；凸台，形成于所述框架的一侧，所述凸台的沿环绕所述蒸镀区域的矩形轨迹延伸，所述凸台的至少一组对边的表面设有平行于所述对边的凹槽；填充于所述凹槽的金属层，所述金属层的表面与所述凸台的表面齐平；以及至少一个掩膜条，跨接于所述凸台的所述一组对边并且局部覆盖所述蒸镀区域，其中，所述掩膜条与所述金属层由同种金属制成，于所述掩膜条与所述凸台的所述金属层的交叉处焊接所述掩膜条和所述金属层，该金属层与掩膜条采用的相同的材质，从而保证了掩膜条和框架之间的焊接强度；框架的材质则是采用了普通的不锈钢材质，从而减少了整个蒸镀过程中的成本。

技术领域

本发明涉及的是一种薄膜蒸镀领域的技术，更具体的说，涉及一种掩膜板及其制造方法。

背景技术

OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二级管，简称OLED)显示装置由于具有薄、轻、宽视角、主动发光、发光颜色连续可调、成本低、响应速度快、能耗小、驱动电压低、工作温度范围宽、生产工艺简单、发光效率高及可柔性显示等优点，已被列为极具发展前景的下一代显示技术。OLED显示装置在制作时，一般采用掩膜板为蒸镀掩模在基板上形成蒸镀图案。

现有的精密金属掩膜板的掩膜条是通过镭射焊接的形式固定在金属框架(Frame)上的。为了保证焊接牢固，金属框架会和精掩膜条采用相同的原料。为了减少蒸镀过程中的热膨胀，掩膜条实际生产中均使用Invar36的材质，因而金属框架也是采用Invar36的材质。

Invar36是一种具有超低膨胀系数的特殊的低膨胀铁镍合金，其中对碳、锰成分的控制非常重要。冷变形能降低热膨胀系数，在特定温度范围内的热处理能使热膨胀系数稳定化。密度：ρ＝8.1g/cm3，熔化温度范围：1430℃，居里温度:230℃，比热：515J/Kg。市场上的Invar36的价格较为昂贵(约为常用304不锈钢的3倍)，且耗材较多，提高了蒸镀成本。

发明内容

针对现有技术存在的问题，本发明的目的在于提供一种掩膜板及其制造方法，本发明的掩膜板及其制造方法，通过在框架上设置金属层，该金属层与掩膜条采用的相同的材质，从而保证了掩膜条和框架之间的焊接强度；框架的材质则是采用了普通的不锈钢材质，从而减少了整个蒸镀过程中的成本；掩膜条损坏之后可以将框架进行回收，修补或加厚位于框架的凸台的金属层之后可以进行再次加工。

根据本发明的一个方面，提供一种掩膜板，包括：

框架，所述框架设有一镂空形成的蒸镀区域；

凸台，形成于所述框架的一侧，所述凸台的沿环绕所述蒸镀区域的矩形轨迹延伸，所述凸台的至少一组对边的表面设有平行于所述对边的凹槽；

填充于所述凹槽的金属层，所述金属层的表面与所述凸台的表面齐平；以及

至少一个掩膜条，跨接于所述凸台的所述一组对边并且局部覆盖所述蒸镀区域，其中，所述掩膜条与所述金属层由同种金属制成，于所述掩膜条与所述凸台的所述金属层的交叉处焊接所述掩膜条和所述金属层。

优选的，所述凸台的材料为SUS不锈钢，所述掩膜条和所述金属层的材料为invar36合金。

优选的，所述金属层的厚度为1um～1000um。

优选的，所述金属层的长度为1mm～2000mm，所述金属层的宽度为1mm～50mm。

优选的，所述金属层通过化学沉积或热喷涂形成。

优选的，所述第二金属掩膜条的数量大于三条。

根据本发明的一个方面，提供一种掩膜板的制造方法，包括：

提供一框架，所述框架包括一蒸镀区域；