[发明专利]柔性显示面板的制作方法有效
| 申请号: | 202010248412.2 | 申请日: | 2020-04-01 |
| 公开(公告)号: | CN111430301B | 公开(公告)日: | 2023-01-24 |
| 发明(设计)人: | 李林霜 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号: | H10K71/80 | 分类号: | H10K71/80;H10K77/10;H10K59/12 |
| 代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 徐世俊 |
| 地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 柔性 显示 面板 制作方法 | ||
1.一种柔性显示面板的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:
S10,在衬底基板上形成第一柔性基板,所述衬底基板为高光学透过率的无碱素玻璃基底,所述第一柔性基板采用无色透明的聚酰亚胺;
S20,在所述第一柔性基板的一侧形成缓冲层;其中,所述缓冲层包括牺牲层,所述牺牲层形成在所述第一柔性基板背离所述衬底基板一侧,所述牺牲层的氢含量为5%-10%;
S30,在所述缓冲层背离所述第一柔性基板的一侧形成第二柔性基板,所述第二柔性基板与所述第一柔性基板的材料和形成方式均相同,所述第二柔性基板的厚度大于等于所述第一柔性基板的厚度;
S40,在所述第二柔性基板背离所述缓冲层的一侧依次层叠薄膜晶体管层、发光器件层和薄膜封装层;
S50,采用500nm以上波长的高光学透过率激光从所述衬底基板背离所述第一柔性基板的一侧射入至所述第一柔性基板,将所述衬底基板与所述第一柔性基板分离,以及所述牺牲层与所述第一柔性基板分离,以得到依次层叠设置有所述第二柔性基板、所述薄膜晶体管层、所述发光器件层和所述薄膜封装层的柔性显示面板。
2.根据权利要求1所述的柔性显示面板的制作方法,其特征在于,步骤“S10”包括:
S101,将无色透明的聚酰亚胺酸溶液均匀的涂布在所述衬底基板的一侧;
S102,将涂布有所述聚酰亚胺酸溶液的衬底基板放置在温度范围大于等于200摄氏度的氮气环境中进行亚胺化,得到所述第一柔性基板。
3.根据权利要求1所述的柔性显示面板的制作方法,其特征在于,所述缓冲层还包括:反光层和隔热层。
4.根据权利要求3所述的柔性显示面板的制作方法,其特征在于,所述牺牲层形成在所述第一柔性基板背离所述衬底基板一侧,所述反光层形成在所述牺牲层背离所述第一柔性基板一侧,所述隔热层形成在所述反光层背离所述牺牲层一侧,且所述牺牲层、所述反光层和所述隔热层均具有预设厚度。
5.根据权利要求4所述的柔性显示面板的制作方法,其特征在于,所述牺牲层的预设厚度为:100-500埃;所述反光层的预设厚度为500-1000埃;所述隔热层的预设厚度为:1000-2000埃。
6.根据权利要求1所述的柔性显示面板的制作方法,其特征在于,所述第一柔性基板和所述第二柔性基板均具有预设厚度,所述第一柔性基板的预设厚度为5-10um,所述第二柔性基板的预设厚度为10-20um。
7.根据权利要求1所述的柔性显示面板的制作方法,其特征在于,所述柔性显示面板为柔性液晶显示面板、柔性发光二极管显示面板或是微型柔性液晶显示面板。
8.根据权利要求1所述的柔性显示面板的制作方法,其特征在于,所述激光为绿激光。
9.根据权利要求8所述的柔性显示面板的制作方法,其特征在于,所述绿激光的波长长度范围为:大于500nm。
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