[发明专利]一种应用于硅片溅射台的分离装置及分离方法

说明书

本发明公开了一种应用于硅片溅射台的分离装置，涉及太阳能电池制造技术领域，包括：基座、第一升降结构、托盘、调整机构、驱动齿轮、驱动装置、分离机构。调整机构具有：滚齿轮、传动齿轮、滚珠丝杆、套座、调节件。本发明通过驱动齿轮的连接齿在旋转方向驱动调整机构的滚齿轮，实现同步驱动滚珠丝杆转动，进而使得滚珠丝杆上的调整件能够沿调整机构的径向方向同步轻触硅片堆以及同步远离硅片堆，使得硅片堆在分离过程中出现单个硅片偏移后，能够对该偏移的硅片进行复位，使得叠放在一起的单个硅片之间，在分离前后都保持上下位置一致。

技术领域

本发明涉及太阳能电池制造技术领域，特别涉及一种应用于硅片溅射台的分离装置。

背景技术

目前，太阳能电池的产量逐年大规模增长，整个光伏产业的技术水平也在逐步提高，产业规模持续扩大。因此，对太阳能电池生产线工艺设备提出很高的要求，低破片率地高良品率的产出是核心竞争力。对于太阳电池生产企业而言，太阳能电池组件的生产过程中，硅片是由硅块切割而成，在将硅块切割成硅片后，需要将叠放在一起的硅片进行分离以进入后续的加工工序中。

在现有技术中，硅片的分离一般采用人工进行分离，可随着自动化技术水平的提高，硅片的上料工序，已经由人工逐片上料，发展为机械手自动上料作业。解决了人工上料可能产生的污染、人为破片和效率低下等系列问题。

然而在硅片加工车间中，由于车间环境较为潮湿，因此采用吸盘式机械手吸住硅片以实现硅片的分离，通常会因为硅片之间有较为强的粘结性(硅片之间潮湿)而导致当一个硅片被吸走时，带动与之贴合的另一硅片发生略微的位置偏移，进而导致该偏移后的硅片被吸盘吸走带到下个设备上(比如硅片溅射台)时，不能找到合适的位置，最后影响加工质量。

发明内容

本发明目的之一是解决现有技术中的硅片位置发生偏移后，会影响加工质量的问题。

本发明目的之二是提供一种分离方法。

为达到上述目的之一，本发明采用以下技术方案：一种应用于硅片溅射台的分离装置，其中，包括：基座；第一升降结构，所述第一升降结构安装在所述基座上；托盘，所述托盘与所述第一升降结构的升降端相连；调整机构，所述机构机构为中空结构，所述第一升降结构的升降端穿过所述调整机构，所述调整机构具有：滚齿轮，所述滚齿轮安装在所述调整机构的下端；传动齿轮，所述传动齿轮动力连接所述滚齿轮；滚珠丝杆，所述滚珠丝杆连接所述传动齿轮；套座，所述套座套接所述滚珠丝杆；调节件，所述调节件为多个，至少为三个，所述调节件垂直连接所述套座，所述调节件可在所述调整机构上滑动；驱动齿轮，所述驱动齿轮为中空结构，所述第一升降结构的升降端同样穿过所述驱动齿轮，所述驱动齿轮上端面具有：连接齿，所述连接齿径向均布分布在所述驱动齿轮上端面，所述连接齿啮合所述滚齿轮；驱动装置，所述驱动装置安装在所述基座上，所述驱动装置上具有：动力齿轮，所述动力齿轮安装在所述驱动装置的旋转动力端，所述动力齿轮啮合所述驱动齿轮；分离机构，所述分离机构设置在所述托盘上方。

在上述技术方案中，本发明实施例首先将叠放在一起形成的硅片堆放入至托盘上；之后启动第一升降结构驱动托盘上的硅片堆向上移动至预定位置(硅片堆上端部分超过调节件即可)；然后通过分离机构吸住硅片堆上顶部的一个硅片，将该硅片与硅片堆分离；最后启动第一升降结构驱动托盘上的硅片堆向下移动至初始位置后，启动驱动装置带动驱动齿轮旋转，从而使得驱动齿轮上连接齿推动滚齿轮旋转，从而驱动传动齿轮带动滚珠丝杆转动，使得调节件沿调整机构的径向移动，实现所有调节件同步轻触硅片堆，使得叠放在一起的单个硅片之间上下位置一致。

进一步地，在本发明实施例中，所述滚齿轮呈环形结构排列在所述调整机构下端。

进一步地，在本发明实施例中，所述调整机构为圆盘状，所述调整件径向均匀分布在所述调整机构上。