[发明专利]层叠型压电元件

说明书

本发明提供一种层叠型压电元件，其具有：层叠体，其具有沿着包含相互正交的第一轴和第二轴的平面形成的压电体层和层叠于压电体层的内部电极层；和侧面电极，其形成于与层叠体的第一轴垂直的侧面。内部电极层具有露出于层叠体的一侧面的引出部，并且在引出部与侧面电极电连接。另外，虚拟电极层以在压电体层的平面上经由间隙包围内部电极层的引出部以外的周围的方式形成。该层叠型压电元件中，虚拟电极层由热收缩开始温度比构成内部电极层的导电性金属高的材质构成。

技术领域

本发明涉及一种层叠型压电元件。

背景技术

层叠型压电元件具有层叠有内部电极和压电体层的结构，与非层叠型的压电元件相比可以增大每单位体积的位移量及驱动力。该层叠型压电元件中，为了防止内部电极层间的迁移引起的短路，通常内部电极层的层叠面积比压电体层的层叠面积变小。但是，这种层叠结构中，在内部电极层存在的部位与内部电极层不存在的部位产生收缩差，因此，有可能产生层叠体的变形或裂纹等。

特别是近年来，层叠型压电元件中，要求元件主体的薄层化或大幅化，在元件主体薄层化或大幅化的情况下，元件主体容易变形，且裂纹的抑制变得更困难。

此外，专利文献1中，公开有在由Ag-Pd合金构成的内部电极层的端部提高Pd比率来抑制裂纹的伸展的技术。但是，专利文献1中公开的技术中，难以抑制元件主体的变形。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2014-72357号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

本发明鉴于这样的实际情况，其目的在于提供一种能够抑制元件主体的变形的层叠型压电元件。

用于解决技术问题的方案

为了达成上述目的，本发明所涉及的层叠型压电元件具有：

层叠体，其具有沿着包含相互正交的第一轴和第二轴的平面形成的压电体层和层叠于所述压电体层的内部电极层；和

侧面电极，其形成于与所述层叠体的所述第一轴垂直的侧面，

所述内部电极层具有露出于所述层叠体的一侧面的引出部，并且在所述引出部与所述侧面电极电连接，

虚拟电极层以在所述压电体层的平面上经由间隙包围所述内部电极层的所述引出部以外的周围的方式形成，

所述虚拟电极层由热收缩开始温度比构成所述内部电极层的导电性金属高的材质构成。

本发明的层叠型压电元件中，在内部电极层的外周形成有虚拟电极层，该虚拟电极层由热收缩开始温度比内部电极层高的材质构成。通过这种构成，在本发明中，能够在层叠体的外侧和内侧消除烧结的不均，并能够抑制层叠体的变形及裂纹的产生。因此，即使在构成层叠体的各层薄层化或大幅化的情况下，层叠体的变形也较小，可以得到呈现较高的压电常数的层叠型压电元件。

优选所述虚拟电极层由组成与所述内部电极层不同的导电性金属构成。

优选所述虚拟电极层由热收缩开始温度比构成所述内部电极层的导电性金属高50℃以上280℃以下的范围的材质构成。

另外，优选的是，本发明的层叠型压电元件中，在与内部电极层与虚拟电极层之间的间隙对应的压电体层，形成有多个空孔。通过具有该空孔，在本发明中，能够缓和层叠体的内部应力，并且能够进一步有效地抑制层叠体的变形及裂纹的产生。另外，通过上述空孔的存在，也能够抑制压电体层的组成变动。因此，即使在构成层叠体的各层薄层化或大幅化的情况下，层叠体的变形也较小，可以得到呈现较高的压电常数的层叠型压电元件。

优选所述空孔的平均直径为0.05μm以上0.2μm以下。