[发明专利]层叠型压电元件在审
| 申请号: | 202010222271.7 | 申请日: | 2020-03-26 |
| 公开(公告)号: | CN111755590A | 公开(公告)日: | 2020-10-09 |
| 发明(设计)人: | 石﨑诚;平川昌治 | 申请(专利权)人: | TDK株式会社 |
| 主分类号: | H01L41/047 | 分类号: | H01L41/047;H01L41/083 |
| 代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 层叠 压电 元件 | ||
1.一种层叠型压电元件,其中,
具有:
层叠体,其具有沿着包含相互正交的第一轴和第二轴的平面形成的压电体层和层叠于所述压电体层的内部电极层;和
侧面电极,其形成于与所述层叠体的所述第一轴垂直的侧面,
所述内部电极层具有露出于所述层叠体的一侧面的引出部,并且在所述引出部与所述侧面电极电连接,
虚拟电极层以在所述压电体层的平面上经由间隙包围所述内部电极层的所述引出部以外的周围的方式形成,
所述虚拟电极层由热收缩开始温度比构成所述内部电极层的导电性金属高的材质构成。
2.根据权利要求1所述的层叠型压电元件,其中,
所述虚拟电极层由组成与所述内部电极层不同的导电性金属构成。
3.根据权利要求1所述的层叠型压电元件,其中,
所述虚拟电极层由热收缩开始温度比构成所述内部电极层的导电性金属高50℃以上280℃以下的范围的材质构成。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的层叠型压电元件,其中,
在与所述内部电极层与所述虚拟电极层之间的所述间隙对应的所述压电体层形成有多个空孔。
5.根据权利要求4所述的层叠型压电元件,其中,
所述空孔的平均直径为0.05μm以上0.2μm以下。
6.根据权利要求4所述的层叠型压电元件,其中,
与所述间隙对应的所述压电体层的空孔率为3%以上20%以下。
7.根据权利要求5所述的层叠型压电元件,其中,
与所述间隙对应的所述压电体层的空孔率为3%以上20%以下。
8.根据权利要求1~3中任一项所述的层叠型压电元件,其中,
所述间隙的宽度为0.05mm以上0.3mm以下。
9.根据权利要求4所述的层叠型压电元件,其中,
所述间隙的宽度为0.05mm以上0.3mm以下。
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