[发明专利]掩膜条及掩膜板在审
申请号: | 202010221322.4 | 申请日: | 2020-03-26 |
公开(公告)号: | CN111254386A | 公开(公告)日: | 2020-06-09 |
发明(设计)人: | 康梦华 | 申请(专利权)人: | 昆山国显光电有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/00 |
代理公司: | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人: | 魏朋 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 掩膜条 掩膜板 | ||
本发明提供一种掩膜条及掩膜板。本发明提供的掩膜条开设有多个第一开口的本体和限定出多个第二开口的网格,网格设置于第一开口内,并与本体连接;本体的厚度大于网格的厚度,从而能够有效地提升掩膜条的力学强度,保证蒸镀的有机材料与背板上设计的像素位置可以更为精准地对位,确保产品的性能。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,特别是涉及一种掩膜条及掩膜板。
背景技术
AMOLED(Active-matrix organic light-emitting diode,有源矩阵有机发光二极管)显示屏因其具备低功耗、高饱和度、广视角、薄厚度、柔性化等优势而被广泛推广。在AMOLED显示屏的制造过程中,通常会采用精密金属掩膜板(Fine Metal Mask,简称FMM)进行显示器件的蒸镀工艺。
精密金属掩膜板一般由多个平行排列的掩膜条、支撑条和框架构成,每个掩膜条以焊接等方式固定于支撑条。在蒸镀工艺中,由于掩膜条厚度较薄、掩膜条和框架之间的固定强度较低,导致蒸镀的有机材料与背板上设计的像素位置出现偏差,影响产品的性能。
发明内容
基于此,有必要针对掩膜条厚度较薄、掩膜条和支撑条之间的固定强度较低,导致蒸镀的有机材料与背板上设计的像素位置出现偏差,影响产品的性能的问题,提供一种掩膜条及掩膜板。
开设有多个第一开口的本体;
限定出多个第二开口的网格,所述网格设置于所述第一开口内,并与所述本体连接;
所述本体的厚度大于所述网格的厚度。
在一个实施例中,所述本体包括用于焊接的焊接区域。
在一个实施例中,所述网格在垂直于所述第一开口的方向上包括相对的第一上表面和第一下表面;所述本体在垂直于所述第一开口的方向上包括相对的第二上表面和第二下表面;所述第一下表面和所述第二下表面平齐。
在一个实施例中,所述本体包括加固部和过渡部,所述网格通过所述过渡部连接于所述加固部,所述过渡部的厚度沿所述加固部到所述网格的方向递减。
在一个实施例中,所述本体还包括夹持部,所述夹持部位于所述本体的长度方向上的两端,所述夹持部的厚度与所述本体的厚度相同。
在一个实施例中,所述网格的厚度为4-15μm,所述本体的厚度为20-50μm,所述网格为金属网格。
本发明实施例还提供了一种掩膜板,其特征在于,所述掩膜板包括框架、多个支撑条和多个掩膜条;
所述掩膜条包括开设有多个第一开口的本体和限定出多个第二开口的网格,所述网格设置于所述第一开口内,并与所述本体连接;
所述本体的厚度大于所述网格的厚度;
至少两个所述支撑条的两端固定于所述框架,相邻的两个所述支撑条平行并按预设距离间隔设置;
所述掩膜条固定于所述框架,且至少一个掩膜条搭接于相邻的两个所述支撑条之间。
在一个实施例中,所述网格在垂直于所述第一开口的方向上包括相对的第一上表面和第一下表面;所述本体在垂直于所述第一开口的方向上包括相对的第二上表面和第二下表面;所述第一下表面和所述第二下表面平齐;所述第二上表面和所述支撑条直接接触。
在一个实施例中,所述框架的一对相对的侧边对应所述支撑条设置有凹槽;所述支撑条长度方向上的两端固定于所述凹槽内。
在一个实施例中,其特征在于,所述支撑条与所述框架焊接固定。
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