[发明专利]掩膜条及掩膜板在审
| 申请号： | 202010221322.4 | 申请日： | 2020-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN111254386A | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 康梦华 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/00 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 魏朋 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 掩膜条 掩膜板 | ||
1.一种掩膜条，其特征在于，包括：
开设有多个第一开口的本体；
限定出多个第二开口的网格，所述网格设置于所述第一开口内，并与所述本体连接；
所述本体的厚度大于所述网格的厚度。
2.根据权利要求1所述的掩膜条，其特征在于，所述本体包括用于焊接的焊接区域。
3.根据权利要求1所述的掩膜条，其特征在于，所述网格在垂直于所述第一开口的方向上包括相对的第一上表面和第一下表面；所述本体在垂直于所述第一开口的方向上包括相对的第二上表面和第二下表面；所述第一下表面和所述第二下表面平齐。
4.根据权利要求1所述的掩膜条，其特征在于：
所述本体包括加固部和过渡部，所述网格通过所述过渡部连接于所述加固部，所述过渡部的厚度沿所述加固部到所述网格的方向递减。
5.根据权利要求1所述的掩膜条，其特征在于，所述本体还包括夹持部，所述夹持部位于所述本体的长度方向上的两端，所述夹持部的厚度与所述本体的厚度相同。
6.根据权利要求1所述的掩膜条，其特征在于，所述网格的厚度为4-15μm，所述本体的厚度为20-50μm，所述网格为金属网格。
7.一种掩膜板，其特征在于，所述掩膜板包括框架、多个支撑条和多个掩膜条；
所述掩膜条包括开设有多个第一开口的本体和限定出多个第二开口的网格，所述网格设置于所述第一开口内，并与所述本体连接；
所述本体的厚度大于所述网格的厚度；
至少两个所述支撑条的两端固定于所述框架，相邻的两个所述支撑条平行并按预设距离间隔设置；
所述掩膜条固定于所述框架，且至少一个掩膜条搭接于相邻的两个所述支撑条之间。
8.根据权利要求7所述的掩膜板，其特征在于，所述网格在垂直于所述第一开口的方向上包括相对的第一上表面和第一下表面；所述本体在垂直于所述第一开口的方向上包括相对的第二上表面和第二下表面；所述第一下表面和所述第二下表面平齐；所述第二上表面和所述支撑条直接接触。
9.根据权利要求7所述的掩膜板，其特征在于，所述框架的一对相对的侧边对应所述支撑条设置有凹槽；所述支撑条长度方向上的两端固定于所述凹槽内。
10.根据权利要求7所述的掩膜板，其特征在于，所述支撑条与所述框架焊接固定。
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