[发明专利]探针卡

权利要求书

1.一种探针卡，其将检查装置与被检查体的电极端子之间电连接，所述探针卡的特征在于，具备：

电路形成基板，其具有与所述检查装置电连接的布线电路，在一个表面上具有与所述布线电路连接的多个基板电极；

多个电触头，它们具有使所述被检查体的电极端子与所述基板电极之间电导通的通电部、和弹性地支承所述通电部的由合成树脂材料形成的基部；以及

触头固定基板，其在与所述电路形成基板的各所述基板电极的位置对应的位置具有多个导通部，在一个表面上固定各所述电触头的所述基部而设置各所述电触头，使另一个表面与所述电路形成基板的所述一个表面相对而设置，

所述触头固定基板由与所述被检查体的形成材料相同的材料形成，

所述基板电极经由所述导通部从所述触头固定基板的所述一个表面突出，

所述通电部的一个端部与所述被检查体的所述电极端子接触，所述通电部的另一个端部经由所述导通部与所述基板电极电连接。

2.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，

设置在所述触头固定基板的所述一个表面上的各所述电触头的所述通电部的姿势在相对于所述触头固定基板的所述一个表面垂直的方向上竖立设置。

3.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，

所述触头固定基板的各所述导通部是使所述电路形成基板的各所述基板电极向所述触头固定基板的所述一个表面侧突出的贯通孔。