[发明专利]一种扰动力生成装置及方法

权利要求书

1.一种扰动力生成装置，其特征在于，所述扰动力生成装置用于产生模拟光刻系统的浸没头或工件台受到的扰动力，所述扰动力生成装置应用于浸没头垂向伺服控制调试和工件台运动控制调试；所述扰动力生成装置，包括：

流体源；

至少一个扰动力调节单元，任一所述扰动力调节单元的入口与所述流体源的出口连通，任一所述扰动力调节单元包括：扰动力波动值生成支路，所述扰动力波动值生成支路的入口与所述扰动力调节单元的入口连通，所述扰动力波动值生成支路的出口与所述扰动力调节单元的出口连通；

所述扰动力波动值生成支路包括：高频开关阀和第一流量调节模块，所述高频开关阀与所述第一流量调节模块串联连通；

所述高频开关阀用于调节所述扰动力波动值生成支路生成的扰动力的波动的频率；所述第一流量调节模块用于调节所述扰动力波动值生成支路生成的扰动力的波动的幅度。

2.根据权利要求1所述的扰动力生成装置，其特征在于，所述第一流量调节模块包括：单向节流阀或电控两通调节阀。

3.根据权利要求1所述的扰动力生成装置，其特征在于，所述扰动力波动值生成支路还包括第一开关阀和第一流量检测模块，所述第一开关阀、所述高频开关阀、所述第一流量调节模块和所述第一流量检测模块串联连通。

4.根据权利要求3所述的扰动力生成装置，其特征在于，所述第一开关阀包括隔膜阀，所述扰动力生成装置还包括与所述隔膜阀对应设置的第一调压阀和电磁阀，所述流体源经所述第一调压阀、所述电磁阀与所述隔膜阀的控制腔连通。

5.根据权利要求1所述的扰动力生成装置，其特征在于，任一所述扰动力调节单元还包括：扰动力均值生成支路，所述扰动力均值生成支路的入口与所述扰动力调节单元的入口连通，所述扰动力均值生成支路的出口与所述扰动力波动值生成支路的出口汇合连通至所述扰动力调节单元的出口；

所述扰动力均值生成支路包括第二流量调节模块。

6.根据权利要求5所述的扰动力生成装置，其特征在于，所述第二流量调节模块包括：单向节流阀，或者，所述第二流量调节模块包括：串联连通的质量流量控制器和单向阀。

7.根据权利要求5所述的扰动力生成装置，其特征在于，所述扰动力均值生成支路还包括第二开关阀和第二流量检测模块，所述第二开关阀、所述第二流量调节模块和第二流量检测模块串联连通。

8.根据权利要求1所述的扰动力生成装置，其特征在于，还包括流体源处理单元，所述流体源处理单元的入口与所述流体源的出口连通，所述流体源处理单元的出口与所述至少一个扰动力调节单元的入口连通，所述流体源处理单元包括：串联连通的第三开关阀、第二调压阀、压力检测模块和流体过滤器。

9.根据权利要求1所述的扰动力生成装置，其特征在于，所述扰动力调节单元的数量为至少两个，所述流体源包括气源。

10.一种基于权利要求1-9任一所述的扰动力生成装置的扰动力生成方法，其特征在于，包括：

控制所述高频开关阀开启；

调节所述第一流量调节模块的流量为第一流量值；

控制所述高频开关阀的开关频率为第一频率；其中，所述高频开关阀用于调节扰动力波动值生成支路生成的扰动力的波动的频率；所述第一流量调节模块用于调节所述扰动力波动值生成支路生成的扰动力的波动的幅度。

11.根据权利要求10所述的扰动力生成方法，其特征在于，当任一所述扰动力调节单元还包括：扰动力均值生成支路时，

在调节所述第一流量调节模块的流量为第一流量值之前，还包括：

调节第二流量调节模块的流量为第二流量值。

12.根据权利要求11所述的扰动力生成方法，其特征在于，在控制所述高频开关阀的开关频率为第一频率之后，还包括：

增大所述第一流量调节模块和所述第二流量调节模块的流量调节精度；

调节所述第一流量调节模块的流量和所述第二流量调节模块的流量，直至所述扰动力生成装置产生的扰动力达到所需的扰动力。