[发明专利]加工机及压力调整方法

说明书

本发明涉及加工机及压力调整方法。加工机(10)包括：支承驱动轴(12)的静压轴承(14)；根据伺服电动机(18A)的旋转而输出用于向静压轴承(14)供给的流体的流体输出部(18)；检测从流体输出部(18)输出的流体的物理量的传感器(20)；和根据流体的物理量来控制伺服电动机(18A)的转速的控制部(22)。

技术领域

本发明涉及对用于供给到支承驱动轴的静压轴承的流体的压力进行调整的加工机及压力调整方法。

背景技术

在加工机中，有时通过流体使驱动轴浮起而进行支承。在该情况下，驱动轴由静压轴承支承。在日本专利特开2018-025253号公报中公开了一种流体控制系统，其以向静压轴承供给的流体的压力维持恒定的方式对静压轴承供给流体。

发明内容

但是，有时使驱动轴浮起的流体的状态会根据用于驱动驱动轴的电动机的发热、驱动轴周边的环境变化等而发生变化。流体的状态只要稍微变化，轴与静压轴承之间的距离就会变化，因此存在加工精度变得不稳定的倾向。特别是在按照由加工程序指定的100nm以下的指令对加工对象物进行加工的情况下，该倾向容易明显化。

因此，本发明的目的在于提供一种能够抑制由流体的状态变化引起的加工精度的不稳定化的加工机及压力调整方法。

本发明的第一方式是对加工对象物进行加工的加工机，其包括：静压轴承，其支承驱动轴；流体输出部，其根据伺服电动机的旋转而输出用于向所述静压轴承供给的流体；传感器，其检测从所述流体输出部输出的所述流体的物理量；以及控制部，其根据所述流体的物理量控制所述伺服电动机的转速。

本发明的第二方式是一种加工机的压力调整方法，该加工机具有流体输出部，该流体输出部根据伺服电动机的旋转而输出用于向支承驱动轴的静压轴承供给的流体，该压力调整方法包括：取得步骤，取得从所述流体输出部输出的所述流体的物理量；以及控制步骤，根据在所述取得步骤中取得的所述流体的物理量，控制所述伺服电动机的转速。

根据本发明，即使从流体输出部输出的流体的物理量发生变化，与该物理量对应的输出量的流体也会从流体输出部供给到静压轴承，因此能够抑制由流体的状态变化引起的加工精度的不稳定化。

从参照附图说明的以下实施方式的说明中，可以容易地了解上述目的、特征以及优点。

附图说明

图1是表示加工机的构成的示意图。

图2是表示流体的压力和温度的关系的图。

图3是表示流体的压力和伺服电动机的转速的关系的图。

图4是表示由控制部进行的压力调整处理的流程的流程图。

图5是表示变形例3的加工机的图。

图6是表示变形例4的加工机的图。

具体实施方式

下面将参考附图详细说明本发明的优选实施例。

[实施方式]

(第一实施方式)

图1是表示加工机10的构成的示意图。加工机10使用刀具对加工对象物进行加工。另外，加工机10也可以是按照由加工程序指定的100nm以下的指令对加工对象物进行加工的精密加工机。另外，加工机10也可以是按照由加工程序指定的10nm以下的指令对加工对象物进行加工的精密加工机。加工机10具有驱动轴12、静压轴承14、电动机16、流体输出部18、传感器20以及控制部22。

静压轴承14可移动地支承驱动轴12。该静压轴承14通过将供给的流体引导至驱动轴12而使驱动轴12浮起，从而可移动地支承驱动轴12。