[发明专利]一种旋转组件和紫外线热处理设备有效
申请号: | 202010192102.3 | 申请日: | 2020-03-18 |
公开(公告)号: | CN111403317B | 公开(公告)日: | 2023-10-13 |
发明(设计)人: | 王洪彪 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/687 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 彭瑞欣;姜春咸 |
地址: | 100176 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 旋转 组件 紫外线 热处理 设备 | ||
1.一种紫外线热处理设备的旋转组件,所述旋转组件包括至少一个旋转件,所述旋转件能够绕该旋转件的旋转轴旋转,其特征在于,所述旋转组件还包括止动机构,所述止动机构与所述旋转件间隔设置,所述止动机构包括止动索和壳体,所述壳体上形成有绳索出口,所述止动索的一端设置在所述壳体内,所述止动索的另一端穿过所述绳索出口固定在所述旋转件上,以随所述旋转件的旋转而同步移动;
所述止动索位于所述壳体内的部分上形成有止动部,且所述止动部的形状设置为不能够穿过所述绳索出口。
2.根据权利要求1所述的紫外线热处理设备的旋转组件,其特征在于,所述止动机构还包括集线盘,所述集线盘设置在所述壳体内,所述止动索位于所述壳体中的一端与所述集线盘连接,且所述集线盘能够旋转,以使得所述止动索由所述绳索出口进入所述壳体并缠绕在所述集线盘上。
3.根据权利要求2所述的紫外线热处理设备的旋转组件,其特征在于,所述集线盘上形成有集线槽,所述集线槽环绕所述集线盘的旋转中心形成在所述集线盘的回转面上,所述止动索缠绕在所述集线盘的集线槽中。
4.根据权利要求2所述的紫外线热处理设备的旋转组件,其特征在于,所述止动机构还包括发条弹簧,所述发条弹簧的一端与所述壳体连接,所述发条弹簧的另一端与所述集线盘连接,且所述发条弹簧能够在所述集线盘由初始位置发生旋转后,对所述集线盘施加一驱动力,以使得所述集线盘沿相反方向旋转至所述初始位置。
5.根据权利要求4所述的紫外线热处理设备的旋转组件,其特征在于,所述壳体包括壳盖和底座,所述底座上形成有中心柱,所述集线盘上形成有发条孔,所述发条孔沿所述集线盘的旋转轴方向贯穿所述集线盘,所述发条弹簧和所述中心柱均位于所述发条孔中,所述发条弹簧的一端与所述中心柱连接,所述发条弹簧的另一端与所述发条孔的孔壁连接。
6.根据权利要求2所述的紫外线热处理设备的旋转组件,其特征在于,所述壳体包括壳盖和底座,所述集线盘朝向所述底座的一侧形成有回转凸台,所述底座上形成有环形的回转槽,所述回转凸台与所述回转槽匹配设置,以使得所述集线盘能够围绕所述回转槽的旋转中心旋转。
7.根据权利要求1至6中任意一项所述的紫外线热处理设备的旋转组件,其特征在于,所述旋转组件还包括导向装置,所述导向装置设置在所述止动机构与所述旋转件之间,所述导向装置具有导向槽,所述止动索穿过所述导向装置的导向槽。
8.根据权利要求7所述的紫外线热处理设备的旋转组件,其特征在于,所述旋转组件还包括底板,所述旋转件的旋转轴、所述止动机构和所述导向装置均固定设置在所述底板上;
所述导向装置包括导向主体和至少一个导向柱,所述导向槽形成在所述导向主体上,所述导向主体通过所述导向柱与所述底板固定连接,且所述导向主体在所述导向柱上的连接位置可调。
9.根据权利要求8所述的紫外线热处理设备的旋转组件,其特征在于,所述导向装置包括两个所述导向柱,所述导向柱具有导向圆柱面,且所述导向圆柱面的至少一部分穿过所述导向槽,所述止动索穿过所述导向槽的部分位于两个所述导向柱的导向圆柱面之间。
10.一种紫外线热处理设备,所述紫外线热处理设备包括至少一个加热组件和至少一个工件承载组件,所述加热组件与所述工件承载组件一一对应设置,用于对所述工件承载组件上承载的工件进行加热,其特征在于,所述紫外线热处理设备还包括旋转组件,所述旋转组件为权利要求1至9中任意一项所述的紫外线热处理设备的旋转组件;
所述旋转组件的旋转件与所述加热组件连接,用于驱动所述加热组件旋转;或者,所述旋转组件的旋转件与所述工件承载组件连接,用于驱动所述工件承载组件旋转。
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