[发明专利]单晶硅片的制绒添加剂及其应用在审
申请号: | 202010191090.2 | 申请日: | 2020-03-18 |
公开(公告)号: | CN111139531A | 公开(公告)日: | 2020-05-12 |
发明(设计)人: | 张丽娟;周树伟;陈培良;贺婷婷 | 申请(专利权)人: | 常州时创能源股份有限公司 |
主分类号: | C30B33/10 | 分类号: | C30B33/10;C30B29/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 213300 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 单晶硅 添加剂 及其 应用 | ||
1.单晶硅片的制绒添加剂,其特征在于,其各组分的质量百分含量为:水溶性高分子0.2%~4%,腐植酸钠0.15%~0.5%,山梨酸钾1%~2%,乙酸钠1.5%~3.5%,余量为水。
2.根据权利要求1所述的单晶硅片的制绒添加剂,其特征在于,所述水溶性高分子为天然类水溶性高分子。
3.根据权利要求2所述的单晶硅片的制绒添加剂,其特征在于,所述天然类水溶性高分子选自植物胶、动物胶、海藻胶中的一种或几种。
4.根据权利要求3所述的单晶硅片的制绒添加剂,其特征在于,所述植物胶选自黄蜀葵胶、槐豆胶、大豆胶、瓜儿豆胶中的一种或几种。
5.根据权利要求3所述的单晶硅片的制绒添加剂,其特征在于,所述动物胶选自骨胶、明胶中的一种或两种。
6.根据权利要求3所述的单晶硅片的制绒添加剂,其特征在于,所述海藻胶选自褐藻胶、海藻酸钠中的一种或两种。
7.单晶硅片的制绒液,其特征在于,其含有碱溶液和权利要求1至6中任意一项所述的制绒添加剂,制绒添加剂与碱溶液的质量比为0.5~1.5:100,碱溶液为无机碱的水溶液。
8.根据权利要求7所述的单晶硅片的制绒液,其特征在于,所述碱溶液为1.0~3.0wt%的氢氧化钠或氢氧化钾水溶液。
9.单晶硅片的制绒方法,其特征在于,利用权利要求7或8所述的制绒液对单晶硅片进行表面制绒。
10.根据权利要求9所述的单晶硅片的制绒方法,其特征在于,其具体步骤包括:
1)配制制绒添加剂:将质量百分含量为0.2%~4%的水溶性高分子、0.15%~0.5%的腐植酸钠、1%~2%的山梨酸钾、1.5%~3.5%的乙酸钠加入到余量的水中,混合均匀配成制绒添加剂;
2)配制制绒液:将步骤1)制成的制绒添加剂加到碱溶液中,混合均匀配成制绒液;制绒添加剂与碱溶液的质量比为0.5~1.5:100;碱溶液为无机碱的水溶液;
3)将单晶硅片浸入步骤2)制得的制绒液中进行表面制绒,制绒温度75~85℃,制绒时间为270~360s。
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