[发明专利]一种避免晶圆镀膜时中间变形的支架工装及工作方法

说明书

本发明公开了一种避免晶圆镀膜时中间变形的支架工装及工作方法，本发明将上吸盘吸附在晶圆的上表面，通过侧吸盘对上吸盘施加水平拉力，使晶圆将被拉平，在镀膜时晶圆将不会再下沉，由此可以消除晶圆下沉带来的一系列不良状况。本发明能够解决晶圆镀膜时因重力造成的下沉问题，能够减小或消除晶圆镀膜后的翘曲，翘曲减小或消除为后续工艺的顺利进行提供方便。重力造成的下沉解决，能够增强镀膜质量。

技术领域

本发明属于镀膜工装领域，具体涉及一种避免晶圆镀膜时中间变形的支架工装及工作方法。

背景技术

现用的晶圆镀膜支架仅是一个具有台阶的环形。镀膜时，晶圆置于其上，因为重力的作用，晶圆玻璃会自由下沉。晶圆下沉的情况会导致镀膜质量问题，镀膜后形成无法消除的翘曲，影响后段工艺制作。

发明内容

本发明的目的在于克服上述不足，提供一种避免晶圆镀膜时中间变形的支架工装及工作方法，能够防止晶圆中部下沉，能够消除晶圆下沉带来的一系列不良状况。

为了达到上述目的，本发明包括镀膜支架，镀膜支架上设置有晶圆放置台，晶圆放置台的上方设置有上吸盘，上吸盘上固定有若干吸盘柱，至少一个吸盘柱内设置有上吸盘真空通道，上吸盘通过上吸盘真空通道连接真空泵，吸盘柱上套设有侧吸盘，侧吸盘上设置有侧吸盘真空通道，侧吸盘真空通道连接真空泵；

侧吸盘工作时，能够使吸盘柱产生横向拉力。

所有侧吸盘环形设置在镀膜支架的外围上。

吸盘柱连接横杆，横杆固定在旋转轴上，旋转轴铰接在固定座上，旋转轴能够在固定座内转动。

横杆与旋转轴通过螺钉连接锁紧，螺钉的端部设置有弹簧嵌套。

镀膜支架的侧壁上开设有用于使晶圆移出的缺口。

晶圆放置台与镀膜支架组成环形台阶结构。

一种避免晶圆镀膜时中间变形的支架工装的工作方法，包括以下步骤：

步骤一，将晶圆放置在晶圆放置台上；

步骤二，上吸盘与晶圆上表面接触，真空泵通过上吸盘真空通道对晶圆产生吸力，将晶圆吸起；

步骤三，真空泵通过侧吸盘真空通道产生吸力，使侧吸盘的侧吸盘真空通道紧密贴合在镀膜支架的侧面，从而拉动吸盘柱，使吸盘柱带动上吸盘产生横向力，将晶圆拉平。

吸盘柱连接横杆，横杆固定在旋转轴上，旋转轴铰接在固定座上，横杆与旋转轴通过螺钉连接锁紧，螺钉的端部设置有弹簧嵌套；

在放置不同厚度的晶圆时，旋转螺钉，在螺钉与旋转轴间的弹簧嵌套的作用下，使横杆上下移动。

与现有技术相比，本发明将上吸盘吸附在晶圆的上表面，通过侧吸盘对上吸盘施加水平拉力，使晶圆将被拉平，在镀膜时晶圆将不会再下沉，由此可以消除晶圆下沉带来的一系列不良状况。本发明能够解决晶圆镀膜时因重力造成的下沉问题，能够减小或消除晶圆镀膜后的翘曲，翘曲减小或消除为后续工艺的顺利进行提供方便。重力造成的下沉解决，能够增强镀膜质量。

进一步的，本发明设置有旋转轴，能够使上吸盘从晶圆上方移动到晶圆镀膜支架主体以外，便于使用者移动晶圆。

进一步的，本发明的横杆与旋转轴通过螺钉连接锁紧，螺钉的端部设置有弹簧嵌套，能够通过螺纹和弹簧结构根据晶圆厚度来调节上吸盘高度。

本发明的方法是在上环形吸盘及测吸盘都开始工作时，上吸盘与晶圆接触的表面吸附住晶圆上表面，侧吸盘水平杆套在上吸盘真空通道或无真空通道的柱子上，侧吸盘吸附环形支架主体外侧面，产生一定拉力。基于此过程，晶圆将被拉平。镀膜时，晶圆将不会再下沉，由此可以消除晶圆下沉带来的一系列不良状况。

附图说明