[发明专利]一种避免晶圆镀膜时中间变形的支架工装及工作方法

权利要求书

1.一种避免晶圆镀膜时中间变形的支架工装，其特征在于，包括镀膜支架(1)，镀膜支架(1)上设置有晶圆放置台(2)，晶圆放置台(2)的上方设置有上吸盘(3)，上吸盘(3)上固定有若干吸盘柱(4)，至少一个吸盘柱(4)内设置有上吸盘真空通道(5)，上吸盘(3)通过上吸盘真空通道(5)连接真空泵，吸盘柱(4)上套设有侧吸盘(6)，侧吸盘(6)上设置有侧吸盘真空通道(7)，侧吸盘真空通道(7)连接真空泵；

侧吸盘(6)工作时，能够使吸盘柱(4)产生横向拉力；

所有侧吸盘(6)环形设置在镀膜支架(1)的外围上；

吸盘柱(4)连接横杆(10)，横杆(10)固定在旋转轴(8)上，旋转轴(8)铰接在固定座(9)上，旋转轴(8)能够在固定座(9)内转动；

横杆(10)与旋转轴(8)通过螺钉(11)连接锁紧，螺钉(11)的端部设置有弹簧嵌套(12)；

镀膜支架(1)的侧壁上开设有用于使晶圆移出的缺口(13)。

2.根据权利要求1所述的一种避免晶圆镀膜时中间变形的支架工装，其特征在于，晶圆放置台(2)与镀膜支架(1)组成环形台阶结构。

3.权利要求1所述的一种避免晶圆镀膜时中间变形的支架工装的工作方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一，将晶圆放置在晶圆放置台(2)上；

步骤二，上吸盘(3)与晶圆上表面接触，真空泵通过上吸盘真空通道(5)对晶圆产生吸力，将晶圆吸起；

步骤三，真空泵通过侧吸盘真空通道(7)产生吸力，使侧吸盘(6)的侧吸盘真空通道(7)紧密贴合在镀膜支架(1)的侧面，从而拉动吸盘柱(4)，使吸盘柱(4)带动上吸盘(3)产生横向力，将晶圆拉平。

4.根据权利要求3所述的一种避免晶圆镀膜时中间变形的支架工装的工作方法，其特征在于，吸盘柱(4)连接横杆(10)，横杆(10)固定在旋转轴(8)上，旋转轴(8)铰接在固定座(9)上，横杆(10)与旋转轴(8)通过螺钉(11)连接锁紧，螺钉(11)的端部设置有弹簧嵌套(12)；

在放置不同厚度的晶圆时，旋转螺钉(11)，在螺钉(11)与旋转轴(8)间的弹簧嵌套(12)的作用下，使横杆(10)上下移动。